[实用新型]一种碳膜辅助的太阳能选择性吸收膜系有效
| 申请号： | 201220653469.1 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202955903U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 陆卫;陈飞良;王少伟;俞立明;刘星星;郭少令;陈效双;王晓芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所;上海德福光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;C23C14/06;C23C14/10;B32B9/04 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 太阳能 选择性 吸收 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳膜辅助的太阳能选择性吸收膜系，其特征在于：所述的太阳能选择性吸收膜系结构为：在金属基片（1）上依次为主吸收膜氮氧化钛（2），副吸收膜无定形碳（3），氮化硅薄膜（4）以及二氧化硅薄膜（5），其中：
所述的金属基片（1）是Cu箔片，Al箔片，Al箔片、Ni箔片或在不锈钢箔片上沉积一层Cu薄膜，或在Al箔片、Ni箔片、不锈钢箔片或Cu箔片上沉积一层红外高反射的Ag薄膜；优选的，采用Cu箔片上沉积一层红外高反射的Ag薄膜；
所述的主吸收膜为氮氧化钛（2）TiNxOy薄膜，Ti、N、O三种元素的原子比范围为Ti:N:O=1:0.5~1:0.5~2，厚度为50nm～150nm；
所述的副吸收膜无定形碳（3）厚度为20nm～100nm；
所述的氮化硅薄膜（4）厚度为20nm～60nm；
所述的二氧化硅薄膜（5）厚度为50nm～150nm。
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