[实用新型]精密气体流量自动控制装置

权利要求书

1.精密气体流量自动控制装置，包括与气源(1)连通的管道，其特征在于：所述管道上自气源(1)始依次设置有手动控制阀(2)、自动控制阀(3)以及流量传感器(4)，所述流量传感器的信号端连接控制模块(5)，控制模块(5)的输出端通过舵机(6)连接齿轮组(7)，所述齿轮组的输出轴连接自动控制阀(3)。

2.根据权利要求1所述的精密气体流量自动控制装置，其特征在于：所述控制模块(5)包括输入端与流量传感器信号端连接的单片机(54)，单片机(54)的输入端还连接按键操作模块(53)以及用于为单片机提供电源的蓄电池(51)，所述单片机的输出端分别连接液晶显示屏(55)和舵机(6)。

3.根据权利要求2所述的精密气体流量自动控制装置，其特征在于：所述蓄电池(51)与单片机(54)之间设置有稳压电路(52)。

4.根据权利要求1至3任一项所述的精密气体流量自动控制装置，其特征在于：所述齿轮组(7)包括相互啮合的齿轮一(71)和齿轮二(72)，所述齿轮一(71)的转轴与舵机轴连接，齿轮二(72)的转轴与自动控制阀(3)连接。