[实用新型]一种涂胶机烘烤顶针装置

说明书

技术领域

本实用新型属于平板显示及半导体制造领域，涉及一种涂胶机烘烤装置，尤其是一种涂胶机烘烤顶针装置

背景技术

在平板显示及半导体行业中，烘烤发挥着不可或缺的作用，涂胶前、曝光前、显影后，均需使用烘烤对基板进行烘烤。然而传统的顶针装置会产生明显的发尘现象，顶针上升下降过程中，很容易摩擦到顶针盒，产生的金属粉尘会粘附在玻璃基板背面造成二次污染，甚至会跟随排气产生的扰流扬尘到基板正面图形上，造成如短路等严重的工艺不良。另外传统的烘烤腔室装置中，所有的顶针高度均相同，当顶针上的基板下降过程中开始接近腔室底部时，基板下方的空气受到压迫，却没有特定的释放方向，导致玻璃基板会横向飘动，造成基板位置偏移而引发死机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述的缺点，提供一种涂胶机烘烤顶针装置，该装置改顶针盒内的滑动摩擦为滚动摩擦，减小摩擦力的同时也解决了粉尘污染的问题，同时对顶针装置底部的设计解决了基板侧滑飘移所带来了死机等问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来解决的：

一种涂胶机烘烤顶针装置，包括贯穿顶针盒内的顶针，所述顶针与顶针盒之间的空腔内设置有若干滚珠，顶针盒固定在烘烤腔底板的下方，顶针从烘烤腔底板上穿出；所述顶针下部设置有顶针底座，顶针底座通过对称分布在其两边的螺丝以及固定螺帽与底座固定板固定在一起。

上述的滚珠选用耐磨耐高温的铁氟龙材质制成。

上述烘烤腔室底板上设置有多组顶针装置，且外圈的顶针高度高于内圈顶针高度。

本实用新型通过在顶针和顶针盒之间设置滚珠，从而将滑动摩擦改变为滚动摩擦，在减小了摩擦力的同时，解决了因为摩擦而产生的金属粉尘污染，避免了二次污染以及因污染而引起的工艺不良；同时顶针底部的螺丝和固定螺帽的结构可以调节顶针高度，使顶针升起时，外圈的顶针比内圈的顶针高，从而在基板下降过程中，由于薄的基板具有扰度，可以定向的将基板底部空气向四周排空，解决了基板下降时产生的侧向飘动的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为烘烤腔示意图。

其中：1为顶针；2为顶针盒；3为滚珠；4为烘烤腔室底板；5为底座固定板；6为顶针底座；7为螺丝；8为固定螺帽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述：

参见图1-2，一种涂胶机烘烤顶针装置，包括贯穿顶针盒2内的顶针1，所述顶针1与顶针盒2之间的空腔内设置有若干滚珠3，顶针盒2固定在烘烤腔底板4的下方，顶针1从烘烤腔底板4上穿出；所述顶针1下部设置有顶针底座6，顶针底座6通过对称分布在其两边的螺丝7以及固定螺帽8与底座固定板5固定在一起。

上述的滚珠3选用耐磨耐高温的铁氟龙材质制成。

上述烘烤腔室底板4上设置有多组顶针装置，且外圈的顶针高度高于内圈顶针高度。

在顶针上下运动时，由于顶针1与顶针盒2之间的空腔内设置有滚珠3，所以将顶针1与顶针盒2之间的滑动摩擦改为滚动摩擦，大幅度的减小了摩擦力，降低了损耗，同时在滚动摩擦时也不会产生金属粉尘污染，不会对玻璃基板背面造成二次污染，降低了产品的工艺不了率。顶针底部的螺丝和固定螺帽的结构可以调节顶针高度，由于薄的玻璃基板有挠度，中心部位会比四周低，通过调节顶针高度，使外圈的顶针比内圈的顶针高，因此能定向的将基板底部空气向四周排空，这样基板下降时就不会随机侧移。