[实用新型]一种新型高速脉冲阀控制器装置有效

专利信息
申请号: 201220660322.5 申请日: 2012-12-04
公开(公告)号: CN203023592U 公开(公告)日: 2013-06-26
发明(设计)人: 唐紫超;任文峰 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: F16K31/02 分类号: F16K31/02
代理公司: 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人: 张晨
地址: 116023 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 高速 脉冲阀 控制器 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于气压控制技术领域,具体涉及一种新型高速脉冲阀控制器装置。

背景技术

在很多物理实验仪器中需要将样品的载气以很窄的高压气体脉冲(约50-100uS)释放到真空腔体里,因此,除了需要高速的电磁阀以外还需要与之匹配的高速脉冲控制器。目前,高速脉冲控制器多由国外公司生产,结构复杂,价格较高,且维护较难,使用寿命短。

发明内容

为了克服现有技术存在的缺陷,本实用新型的目的是一种新型高速脉冲阀控制器装置,本实用新型成本低廉、结构简单、维护成本低。

本实用新型提供了一种新型高速脉冲阀控制器装置,该控制器装置由信号发生器、信号处理单元、气压传感器信号放大调节单元、高速脉冲阀组成;信号处理单元接受来自于信号发生器的触发信号,然后使用单片机对触发信号做延迟和脉宽控制,精度可达10ns,最后经过放大器放大输出给高速脉冲阀,输出有气压-电压负反馈电路和限流保护电路。

本实用新型提供的新型高速脉冲阀控制器装置,利用单片机对触发信号进行数字处理,有气压负反馈功能,输出电压可控。

本实用新型的有益效果是:本实用新型装置能使高速脉冲阀内的气体脉冲无波动,增加实验结果的准确性,结构简单,制造成本低。

附图说明

图1是本实用新型一种新型高速脉冲阀控制器装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示,本实用新型一种新型高速脉冲阀控制器装置,本仪器接受外部的触发信号,在对触发信号进行延迟和脉宽控制后经过放大器放大输出给高速脉冲阀。系统设计有一套气压-电压负反馈电路,能够根据当前的供给气压适当微调脉冲阀输出的电压,已达到稳定输出气量的目的。当输入气压降低时,输出电压调高,反之调低。脉冲阀的开启速度和开启时间即得到改变。

本实用新型的有益效果是:1,本实用新型装置采用单片机对触发信号进行数字的时序控制,大大提高了时序精度和缩小了误差的范围;2,本实用新型装置能使高速脉冲阀内的气体脉冲无波动,增加实验结果的准确性,结构简单,制造成本低。

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