[实用新型]装卸载机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及转送装置领域，具体地涉及一种装卸载机械手。

背景技术

在多晶硅太阳电池的生产过程中，需要对扩散后的硅表面沉积一层减反射膜层以减少太阳光在表面发生反射。氮化硅薄膜具有高的化学稳定性、高电阻率、绝缘性好、硬度高、光学性能良好等特性，在太阳能电池上得到广泛的应用。作为减反射膜，氮化硅薄膜具有良好的光学性能，其折射率在2.0左右，比传统的二氧化硅减反射膜具有更好的减反射效果。同时，氮化硅薄膜还具有良好的钝化效果，对质量较差的硅片能起到表面和体内的钝化作用。

目前，平板式PECVD和管式PECVD在工业生产中得到了广泛应用。其中PECVD（PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition，等离子增强型化学气相沉积）是借助微波使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，从而在基片上沉积出所期望的薄膜。相对平板式PECVD，管式PECVD有着更好的钝化效果，对太阳电池转换效率有着更好的作用。

现有技术中，多晶硅电池生产中，在管式PECVD工序硅片的装卸载是用机械手自动完成的。硅片通过管式PECVD机械手上的三个具有吸气口的吸盘将硅片吸起和放下。然而，在管式PECVD机械手卸载沉积氮化硅薄膜后的硅片时，由于卸载、取片过程中硅片放置不当等原因经常出现个别位置的硅片吸不上来，但是在取片、卸载过程中氮化硅薄膜表面产生了划痕，造成了该工序的氮化硅薄膜表面不合格，不仅影响产品产量，还浪费化学药品和人员工时。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种装卸载机械手，可以避免吸盘在待转送部件的表面产生划痕。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种装卸载机械手，包括吸取单元，每个吸取单元包括具有吸气口的吸盘，吸盘包括用于防止待转送部件划伤的防划伤结构。

进一步地，吸盘包括本体部和设置于本体部上的用于防止待转送部件划伤的防划伤层，防划伤结构包括防划伤层。

进一步地，防划伤层的硬度低于本体部或待转送部件的硬度。

进一步地，防划伤层为塑料层或者橡胶层。

进一步地，防划伤层的厚度为2mm~4mm。

进一步地，防划伤层粘接在本体部的吸附表面。

进一步地，吸盘采用硬度低于待转送部件的硬度的材料制成以形成防划伤结构。

进一步地，材料为塑料材料或橡胶材料。

进一步地，吸取单元还包括支撑板，支撑板上设置两个以上吸盘。

进一步地，装卸载机械手包括多个吸取单元，各吸取单元的支撑板彼此间隔且平行地设置。

应用本实用新型的技术方案，由于吸盘具有防止待转送部件划伤的防划伤结构，因而可以避免吸盘在待转送部件的表面产生划痕。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型实施例的装卸载机械手的结构示意图；

图2示出了图1的俯视图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1和图2所示，本实施例提供一种装卸载机械手。装卸载机械手包括吸取单元，每个吸取单元包括具有吸气口12的吸盘1和与吸气口12连通的吸气管3。吸盘1包括用于防止待转送部件划伤的防划伤结构。吸盘1包括本体部和设置于本体部上的用于防止待转送部件划伤的防划伤层11，防划伤结构包括防划伤层11。本实施例中待转送部件具体地为具有氮化硅薄膜的硅片。

如图1所示，吸取单元还包括支撑板4，支撑板4上设置两个以上吸盘1。每个装卸载机械手包括多个吸取单元，各吸取单元的支撑板4彼此间隔且平行地设置。

在本实用新型的一个实施例中，每个装卸载机械手的每个吸取单元包括三个吸盘1，每个吸盘1上设置有防划伤层11。

本实施例中，防划伤层11的硬度低于本体部或待转送部件的硬度。防划伤层11具体地可以设置为厚度为2mm~4mm的塑料垫片或者橡胶垫片。

在本实施例中，防划伤层11均匀地粘接在本体部的吸附表面，以保证吸盘1在吸取待转送部件的过程中不漏气。