[实用新型]一种可快速升降温的高功率加热器

说明书

技术领域

本实用新型属于加热器，具体涉及一种可快速升降温的高功率加热器。 

背景技术

在用金属有机化学气相沉积设备（MOCVD）制备半导体薄膜材料时，所发生的化学反应都是在特定的温度环境下，且各层温度相差较大，温度均匀性直接影响薄膜的品质，升降温速率影响生产周期，使用寿命影响到设备使用成本。所以工业生产中采用MOCVD制备半导体薄膜材料对加热器的温度均匀性、升降温速率和使用寿命都有很高的要求。现有的用于MOCVD的高功率加热器包括炉体、设在炉体上的PBN陶瓷绝缘板和位于PBN陶瓷绝缘板上面的发热丝，其采用支架支撑在PBN陶瓷绝缘板上，这种PBN陶瓷绝缘板材料十分昂贵也很容易损坏，生产成本较高，使用寿命较短。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可快速升降温的高功率加热器，以满足MOCVD制备半导体薄膜材料对加热器的温度均匀性、升降温速率和使用寿命的要求，并有效降低成本和能耗。 

实现本实用新型目的采用的技术方案如下： 

本实用新型提供的可快速升降温的高功率加热器，包括炉体、设在炉体上的一层或多层金属反射板和位于金属反射板上面的发热丝。

所述炉体包括上下设置的负电极板和正电极板，所述正电极板和负电极板通过第一紧固部件和第一绝缘部件相互固定并绝缘；所述金属反射板通过第二紧固部件和第二绝缘部件固定在负电极板上方；正电极板向下引出设备连接电极脚正极，向上绝缘穿过负电极板和金属反射板引出发热丝电极正极；负电极板向下绝缘穿过正电极板引出设备连接电极脚负极，向上导电穿过金属反射板引出发热丝电极负极；发热丝通过若干支架支撑于金属反射板之上，所述支架绝缘穿过金属反射板、负电极板固定于正电极板上。 

所述正电极板和负电极板之间有固定板，固定板通过第三紧固部件固定在负电极板下方并允许与负电极板导电。 

本实用新型可采用钨、钼、铼或其它高温合金制造金属反射板，并将金属反射板取代PBN陶瓷绝缘板和陶瓷零件作为加热器的主体隔热和绝缘材料。金属反射板的应用可以提高温度均匀性，升降温速率，降低能耗和成本。本实用新型具有如下优点：1、加热器可全部采用钨、钼、铼或其它高温合金，绝缘材料全部采用99瓷，可提高使用寿命；2、金属反射板的应用，可将加热丝向下的热量向上反射，可提高温度的均匀性，升降温速率，降低能耗；3、该加热器适用于有氢气或氮气保护的任何环境。 

下面结合附图进一步说明本实用新型的技术方案。 

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图。 

具体实施方式

见附图，本实用新型包括炉体、设在炉体上的金属反射板10和位于金属反射板10上面的发热丝8，炉体包括上下设置的负电极板13和正电极板15，正电极板15和负电极板13通过螺杆6、贯穿相套的陶瓷管17和陶瓷管18相互固定并绝缘，正电极板15和负电极板13之间设有固定板14，固定板14通过螺杆2、陶瓷管19固定在负电极板13下方并与负电极板13导电，金属反射板10采用三层（或者一层、两层），它们通过螺杆1、螺杆2、陶瓷管3、陶瓷管4固定在负电极板13上方，正电极板15向下引出设备连接电极脚正极20，负电极板13通过陶瓷管22向下穿过正电极板15引出设备连接电极脚负极16，电极脚负极16和设备连接电极脚正极20分别用螺帽21拧紧固定在负电极板13和正电极板15上，正电极板15向上绝缘穿过负电极板13和金属反射板10引出发热丝电极正极7，负电极板13向上导电穿过金属反射板10引出发热丝电极负极5，发热丝8由若干支架9支撑于反射板之上，支架9绝缘穿过金属反射板10，并通过陶瓷管12穿过负电极板13、固定板14固定于正电极板15上，支架9通过突出部11卡在陶瓷管12上。 

负电极板13、固定板14、金属反射板10为同一极性，通电时接电源负极。 

正电极板15通电时接电源正极。 

电流经设备连接电极脚正极20进入，然后经正电极板15导入发热丝电极正极7传入发热丝8，电流经发热丝电极负极5到负电极板13，最后到设备连接电极脚负极16形成回路。