[实用新型]一种大气压微波等离子体炬装置

权利要求书

1.一种大气压微波等离子体炬装置，该装置包括微波功率单元（1）、波导（2）和喷嘴（3），其特征在于：

所述微波功率单元（1）用于将直流电场中取得的直流能量转换成微波能量，并输出至波导（2）；

所述波导（2）呈两端宽、中间窄的对称结构，其一端与微波功率单元（1）相连用于引导传输入射的微波，另外一端设置有短路活塞（5），并通过该短路活塞的滑动来控制电场强度的分布；

所述喷嘴（3）沿着竖直方向插入在波导（2）的中央位置，其一端通过软管与装有介质气体的气瓶相连，另外一端用于介质气体在放电后产生等离子体炬。

2.如权利要求1所述的大气压微波等离子体炬装置，其特征在于，所述喷嘴（3）包括竖直贯穿波导（2）中央位置的中空石英玻璃管（6）、设置在该中空石英玻璃管外侧（6）且位于波导（2）上侧的金属套筒（7），以及同轴设置在该中空石英玻璃管（6）内部的内导体（8）。

3.如权利要求1或2所述的大气压微波等离子体炬装置，其特征在于，所述微波功率单元（1）包括微波连续源和磁控管，其中微波功率源的频率为2.45GHz，功率在1000W以下。

4.如权利要求3所述的大气压微波等离子体炬装置，其特征在于，所述微波功率源的功率为20W～900W。

5.如权利要求3所述的大气压微波等离子体炬装置，其特征在于，所述介质气体为氩气、氮气或氧气。

6.如权利要求3所述的大气压微波等离子体炬装置，其特征在于，所述同轴设置在中空石英玻璃管（6）内部的内导体（8）为铜丝。