[实用新型]一种MEMS结构的扫描标准具有效
| 申请号： | 201220672264.8 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN202975471U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;贺坤;刘国宏 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 扫描 标准 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS结构的扫描标准具，其包括光纤、微透镜、光电二极管或接受光纤，其特征在于：所述的光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，所述的微型凸透镜和微透镜之间设有MEMS活动片，所述的光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS结构的扫描标准具，其特征在于：所述的微型凸透镜为气溶胶成型，表层设有氩层。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS结构的扫描标准具，其特征在于：所述的微型凸透镜与MEMS活动片间距5-50μm。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS结构的扫描标准具，其特征在于：所述的光纤为TEC光纤。
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