[实用新型]微米级四轴运动平台

权利要求书

1.一种微米级四轴运动平台，包括底座(11)、X轴运动系统(41)、Y轴运动系统(42)、Z轴运动系统(43)和R轴运动系统(44)，其特征在于： 

X轴运动系统(41)包括X轴直线电机(412)、X轴光栅尺(413)、X轴导轨(411)和X轴滑块，X轴导轨(411)和X轴直线电机(412)安装于底座(11)上，X轴光栅尺(413)安装于底座(11)上，X轴滑块可移动地装于x轴导轨(411)上； 

Y轴运动系统(42)包括Y轴直线电机(422)、Y轴光栅尺(423)、Y轴导轨(421)和Y轴滑块，Y轴导轨(421)和Y轴直线电机(422)可移动地安装于底座(11)上，Y轴光栅尺(423)安装于Y轴导轨(421)上，Y轴滑块可移动地安装于Y轴导轨(421)上； 

Z轴运动系统(43)包括Z轴驱动器(432)、Z轴导轨(431)和Z轴滑块434，Z轴导轨(431)和Z轴驱动器(432)固定于横梁(13)上，横梁(13)两端分别安装于立柱(12)上，立柱(12)固定于底座(11)上，Z轴滑块434可上下移动地装于Z轴导轨(431)上； 

R轴轴运动系统(44)包括基座(441)、平台(442)、旋转工作台(443)、旋转接头(444)和传动机构，基座(441)装于Y轴运动系统(42)的台面上，平台(442)固定于基座(441)上，旋转工作台(443)可转动地安装于平台(442)上并与传动机构连接。 

2.根据权利要求1所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述旋转工作台(443)下方与平台(442)上方有相互适配的环槽，环槽内装有密封圈。 

3.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述旋转工作台(443)设贯穿其表面的吸气孔，基座(441)上设有至少一个通孔与旋转工作台(443)上的吸气孔相通，该通孔与锁设于基座(441)底面的空心旋转接头(444)相连，空心旋转接头(444)与抽气装置连通。 

4.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述光栅尺(413、423)采用闭环反馈控制系统。 

5.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述电机(412、422)的位移传感器采用直线电机霍尔传感器。 

6.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：底座(11)、立柱(12)以及横梁(13)，采用花岗岩。