[实用新型]用于测试光学镜片透过率的装置有效

专利信息
申请号: 201220676269.8 申请日: 2012-12-10
公开(公告)号: CN203132813U 公开(公告)日: 2013-08-14
发明(设计)人: 周翊;宋兴亮;范元媛;沙鹏飞;赵江山;李慧;鲍洋;张立佳;崔惠绒;王宇 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100094*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 用于 测试 光学镜片 透过 装置
【权利要求书】:

1.一种用于测试光学镜片透过率的装置,用于测量光学镜片对于特定波长的激光光束的透过率,该装置包括用于产生该特定波长的激光光束的激光产生装置,其特征在于,该用于测试光学镜片透过率的装置还包括分束器、第一光探测器和第二光探测器, 

所述分束器用于将所述激光产生装置产生的激光分成两束,一束通过一个测量光路,另一束通过一个参考光路; 

所述第一、第二光探测器用于测量投射其上的激光光束的能量;其中 

所述光学镜片能够可拆卸地安装在所述测量光路上,且当该光学镜片安装在该测量光路上时,所述激光光束能透射过该待测光学镜片后入射到所述第一光探测器,以及 

所述参考光路的激光直接入射到第二光探测器。 

2.如权利要求1所述的用于测试光学镜片透过率的装置,其特征在于,在所述参考光路和所述测量光路上均包括小孔板,所述小孔板上设置有供激光通过的小孔,该小孔用于调节激光光束大小,使得光束大小与所述光学镜片的受光区域面积相当。 

3.如权利要求1所述的用于测试光学镜片透过率的装置,其特征在于,所述光学镜片(500)通过待测元件夹持装置(510)可拆卸地固定在所述测量光路中。 

4.如权利要求1所述的用于测试光学镜片透过率的装置,其特征在于,还包括数据处理装置(800),其用于接收由第一光探测器(600)和第二光探测器(601)测得的激光能量信号,对所述激光能量信号进行处理后得到所述光学镜片(500)的透过率。 

5.一种用于测试光学镜片透过率的装置,用于测量光学镜片对于特定波长的激光光束的透过率,该装置包括用于产生具有特定波长和第一重频频率的激光光束的激光产生装置,其特征在于,该用于测试光学镜片透过率的装置还包括分束器、光斩波器、分束镜、第一锁相放大器、第二锁相放大器和光探测器, 

所述激光产生装置还用于同步产生一个重频信号,并将该重频信号发送到所述光斩波器和第一锁相放大器,该重频信号频率等于激光脉冲重频频率; 

所述分束器用于将所述激光产生装置产生的激光分成两束,一束通过一个测量光路,另一束通过一个参考光路; 

所述光斩波器用于接收由分束器出射的通过所述参考光路的激光,以所述激光产生装置发出的重频信号作为触发信号,根据一调制信号对所接收的激光进行斩波调制,输出具有第二重频频率的激光,该调制信号频率等于第二重频频率; 

所述分束镜用于将所述测量光路与所述参考光路的激光在测量光方向与参考光方向分别合并生成为两束混合光束;在入射到此分束镜前,测量光路方向与参考光路方向正交,测量光和参考光在分束镜上同一位置发生透射和反射,测量光的透射光与参考光的反射光合成一束混合光束,而测量光的反射光与参考光的透射光则合成另一束混合光束,这两束混合光束在分束镜上同一位置处正交出射分束镜; 

所述光探测器用于测量所述混合光束的能量信号,并将其分别输入所述第一、第二锁相放大器; 

所述第一锁相放大器和第二锁相放大器用于分别接收所述激光产生装置发出的重频信号和所述光斩波器发出的调制信号,并分别将第一重频频率和第二重频频率作为其参考频率,以分别从所述混合光束的能量信号中检测出频率分别为所述第一重频频率和所述第二重频频率的激光能量信号,这两个信号分别对应于测量光束与参考光束的光强; 

待测光学镜片能够可拆卸地安装在测量光路上,且当该光学镜片安装在该测量光路上时,所述激光光束能透射过该待测光学镜片后入射到分束镜。 

6.如权利要求5所述的用于测试光学镜片透过率的装置,其特征在于,在所述参考光路和所述测量光路上均包括小孔板,所述小孔板上设置有供激光通过的小孔,该小孔用于调节激光光束大小,使得光束大小与述光学镜片的受光区域面积相当。 

7.如权利要求5所述的用于测试光学镜片透过率的装置,其特征在于,所述光学镜片(500)通过待测元件夹持装置(510)可拆卸地固定在所述测试光学镜片透过率的装置的测量光路中。 

8.如权利要求5所述的用于测试光学镜片透过率的装置,其特征在于,还包括数据处理装置(800),其用于接收所述具有第一重频频率和具有所述第二重频频率的激光能量信号,对该两个激光能量信号进行处理后得到所述光学镜片(500)的透过率。 

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