[实用新型]探针卡自动维修设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片封装测试领域，尤其涉及悬臂式探针测试领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试, 以细微探针接触待测芯片的信号接点，对待测芯片接入信号，并接收待测芯片的回馈信号，以判断待测芯片是否能够正常运作。

探针卡主要结构包含电路板、连接元件、及包含探针头，探针头具有探针，且探针是设置于一基座上。

当前的半导体封装测试大部分以悬臂式探针卡进行电性测试，随着对产能不断提升的需求，提高测试稳定性，缩短测试时间是势在必行的研究课题，然而在芯片测试时间不变的条件下如何提高测试稳定性是目前的难点。

再者，芯片的引脚数量在不断增加，引脚的尺寸不断缩小，而探针也在相应的变密、变细;在测试过程中，探针卡对位精度不佳的重要原因之一就是探针卡针位与水平不良，会直接影响测试的稳定性。

目前使用探针卡的维修技术都是采用人工方式进行，先使用高倍显微镜进行探针卡水平量测，再将探针卡移至对位调针机台进行针点针位调整，调整方式用镍子挟持针身，依照原始针位方向进行微调，不断地反复相同动作检查调整确认整片探针卡回到出厂规格。

这种维修方式存在诸多缺点，如：需要反复调整确认耗时费工；且完全凭借个人感觉及手法，不同的人校正维修之后的结果各有差异，无法保证维修精度的一致性；培训人才到能独立作业耗费时间大于6个月以上，人才易流失；显微镜工作环境长时间的操作易造成眼睛疲劳，相对影响工作效率。

因此有必要提供一种可自动维修探针卡的设备来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型涉及一种维修探针卡的自动设备。

为达到上述实用新型目的，本实用新型提供了一种探针卡自动维修设备，包括真空吸嘴、顶针及探针，所述顶针、探针都位于真空吸嘴内部，顶针可沿所述真空吸嘴侧壁移动，从而调节探针位置。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空吸嘴为喇叭型。

作为本实用新型的进一步改进，所述顶针针身表面为波浪状。

作为本实用新型的进一步改进，还包括一机械手臂，所述真空吸嘴连接于机械手臂上，所述机械手臂可控制所述真空吸嘴的动作及顶针的移动。

作为本实用新型的进一步改进，还包括一真空吸管，所述真空吸管和所述真空吸嘴相连。

作为本实用新型的进一步改进，还包括一微控制单元，所述微控制单元与所述机械手臂电气连接，所述微控制单元检测探针卡上探针的坐标位置，当位置有偏差时，发送该探针坐标信号给所述机械手臂，所述机械手臂控制真空吸嘴移动至对应的探针位置。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空吸嘴内部还设有一真空监测仪，所述真空监测仪将检测数据反馈给机械手臂。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空监测仪检测数据反馈给机械手臂的真空值达到预设值，所述机械手臂启动调针动作，将所述顶针下压，与探针卡之探针接触，并至充满所述真空吸嘴。

与现有技术相比，本实用新型所提供的探针卡自动维修设备，可加快维修效率，提升维修精度，避免人为维修差异性，有效解决人工疲劳操作问题，缩短工程师学习周期。且缩短维修时间，大幅提升产能需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型之探针卡自动维修设备之结构示意图；

图2为本实用新型之探针卡自动维修设备顶针下压时的示意图；

图3为本实用新型之探针卡自动维修设备顶针充满真空吸嘴时的示意图；

图4为本实用新型一实施例之探针卡自动维修方法流程图。

其中，附图标记为：

1，微电脑；2，显微镜；3，真空吸管；4，机械手臂；5，真空吸嘴；6，探针；7，顶针。

具体实施方式

以下将结合附图所示的各实施例对本实用新型进行详细描述。但这些实施例并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施例所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。