[实用新型]硅片整形吸附装置

权利要求书

1.一种硅片整形吸附装置，由机板、传送机构、整形机构和吸附机构连接构成，其特征在于：所述的机板的中轴线设有传送机构，所述传送机构的两旁设有整形机构，所述的整形机构为对称安装的两套气缸安装板并连接气缸及整形板，所述的吸附机构由吸附板连接高压气管、真空发生器及电磁阀构成，所述的吸附板设置在传送机构传送带的空腔中，该吸附板的两侧设有对称的高压气管，所述的高压气管穿过机板的通孔，所述的吸附板上面设有对称排列的吸孔，所述的吸孔对准传送带的空隙。

2.根据权利要求1所述的一种硅片整形吸附装置，其特征在于：所述的吸附板为四根方形管材连接的长方形框体，其中两根长管两端的上面设有轴向排列的吸孔，所述长管侧面的两端连接高压气管，所述高压气管的管口对准排列吸孔的中心。

3.根据权利要求2所述的一种硅片整形吸附装置，其特征在于：所述的高压气管由横管和竖管连接而成，横管的两个管口分别连接吸附板的侧面的两端，竖管的一端连通横管的中心，另一端连通真空发生器，所述真空发生器的一端设有电磁阀。

4.根据权利要求1所述的一种硅片整形吸附装置，其特征在于：所述的整形板竖置对称分列传送机构的两旁，该整形板下端略低于上行传送带。

5.根据权利要求1所述的一种硅片整形吸附装置，其特征在于：所述的传送机构由电机、转轴、轴座、轮座、皮带轮和传送带连接而成，所述的电机安装在紧靠气缸安装板旁边的机板上，电机的转轴穿过并连接一对轴座，所述的轴座分别固定在两个气缸安装板旁边的机板上，所述的转轴设有一对皮带轮，所述的轮座设置在机板的端头，该轮座设有一对皮带轮，所述转轴上的皮带轮和轮座上的皮带轮相对称，并通过传送带连接。