[实用新型]一种磁控溅射镀膜腔室有效
| 申请号： | 201220688746.2 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN202989275U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 龙永洪;李建根;徐伯永 | 申请（专利权）人： | 成都南玻玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 王芸;刘雪莲 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜腔室，包括设置于溅射室的内部的网罩，其特征在于：所述网罩与溅射室可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜腔室，其特征在于：所述网罩由连接钢板与不锈钢网组成，所述连接钢板的截面形状与溅射室内腔侧面的截面形状相适配，所述不锈钢网焊接于连接钢板上，所述网罩通过连接螺栓与设置于溅射室上的螺纹固定孔连接。
3.根据权利要求2所述的磁控溅射镀膜腔室，其特征在于：所述溅射室上均布有若干个螺孔，所述网罩上设置有若干个连接孔，所述连接孔的位置与螺纹固定孔的位置一一对应，所述各连接孔内均设置有一个连接螺栓。
4.根据权利要求1至3中任一所述的磁控溅射镀膜腔室，其特征在于：所述网罩的顶面设置有若干个矩形通孔。
5.根据权利要求4所述的磁控溅射镀膜腔室，其特征在于：所述矩形通孔均匀分布于网罩的顶面。
6.根据权利要求5所述的磁控溅射镀膜腔室，其特征在于：所述网罩的横截面呈“U”字型。
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