[实用新型]太阳能硅片及电池片缺陷检测系统

权利要求书

1.一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：包括机架、样品放置平台、处理器（12）、少子寿命检测模块（1）、图像采集系统（4）和激光照明系统（5），所述少子寿命检测模块（1）、图像采集系统（4）和激光照明系统（5）分别固设于机架上，样品放置平台包括固定于机架上的导轨（3）和能够沿导轨（3）滑动的光致荧光检测平台（2）及电致荧光检测平台（7），所述光致荧光检测平台（2）上设有少子寿命探测器（10），该少子寿命探测器（10）传信于处理器（12），所述电致荧光检测平台（7）上设有能够给样品（11）施加直流电源的加电装置（16），且该加电装置（16）、样品（11）和电致荧光检测平台（7）能够形成一个导电回路，少子寿命检测模块（1）能够朝位于设定位置的光致荧光检测平台（2）上的样品（11）发射闪光，激光照明系统（5）能够朝光致荧光检测平台（2）和电致荧光检测平台（7）之一上的样品（11）发射激光，图像采集系统（4）能够采集处于设定位置的样品（11）发出的荧光图像并传信给处理器（12）进行分析和处理。

2.如权利要求1所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述光致荧光检测平台（2）和电致荧光检测平台（7）采用联动定位的机械结构。

3.如权利要求2所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述导轨（3）上设有可调节限位环（9），该可调节限位环（9）与光致荧光检测平台（2）和电致荧光检测平台（7）能够拆卸固定连接，并将光致荧光检测平台（2）和电致荧光检测平台（7）之一固定于设定位置。

4.如权利要求1所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述电致荧光检测平台（7）与真空发生器连接，真空发生器能够使电致荧光检测平台（7）与样品（11）之间产生真空。

5.如权利要求1所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述电致荧光检测平台（7）上的加电装置（16）为三条探针条，该三条探针能够与样品（11）紧密接触。

6.如权利要求5所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：还设有探针架（6），三条探针能够拆卸固定于探针架（6）上，探针架（6）与电致荧光检测平台（7）铰接连接，还设有一锁紧机构（8），该锁紧机构（8）能够将盖板与电致荧光检测平台（7）锁紧固定。

7.如权利要求6所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：还设有气压弹簧，气压弹簧的两端分别与电致荧光检测平台（7）和探针架（6）侧壁固定连接。

8.如权利要求1所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述激光照明系统（5）包括控制激光器（14）和激光照明镜头，所述控制激光器（14）能够接收处理器（12）命令发射激光给激光照明镜头，激光照明镜头内依次设有光束整形光管、聚焦镜头和光斑调整装置。

9.如权利要求1所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述图像采集系统（4）为CCD相机。

10.如权利要求1所述的太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：所述加电装置（16）施加的直流电源为二象限可编程直流电源。