[实用新型]微型液体颗粒计数器芯片

权利要求书

1.一种微型液体颗粒计数器芯片，用于测量待测液体中微小颗粒的大小和数量，其特征在于：其包括芯片本体，所述的芯片本体中设置有光学检测系统以及光刻形成的液体微流通道；

所述的液体微流通道的两端与所述的芯片本体的外部相连通并通入有所述的待测液体；

所述的光学检测系统包括光刻形成的入射端微透镜组、出射端微透镜组、入射端光纤固定槽、出射端光纤固定槽以及固设于所述的入射端光纤固定槽中的入射光纤、固设于所述的出射端光纤固定槽中的出射光纤；

所述的入射端微透镜组和所述的出射端微透镜组相对的设置于所述的液体微流通道的两侧；所述的入射端光纤固定槽设置于所述的入射端微透镜组的远离所述的液体微流通道的一侧，所述的出射端光纤固定槽设置于所述的出射端微透镜组的远离所述的液体微流通道的一侧；光线依次经过所述的入射光纤、所述的入射端微透镜组、所述的液体微流通道、所述的出射端微透镜组、所述的出射光纤而形成检测光路，所述的检测光路与所述的液体微流通道中流过的所述的待测液体形成的液路相交形成检测区域。

2.根据权利要求1所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的检测光路的轴线与所述的液体微流通道的轴线相垂直。

3.根据权利要求1或2所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的入射端微透镜组包括第一非球柱面和第二非球柱面，所述的出射端微透镜组包括第三非球柱面和第四非球柱面，所述的入射光纤的端面位于所述的第一非球柱面的前方的焦平面上，所述的检测区域的中心位于所述的第二非球柱面的后方的焦平面上以及所述的第三非球柱面的前方的焦平面上，所述的出射光纤的端面位于所述的第四非球柱面的后方的焦平面上。

4.根据权利要求1或2所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的芯片本体中含光刻形成有两条鞘液流通道，所述的鞘液流通道分别设置于所述的液体微流通道的两侧并与所述的液体微流通道形成一夹角，所述的鞘液流通道的一端与所述的芯片本体的外部相连通，所述的鞘液流通道的另一端与所述的液体微流通道相交，所述的光学检测系统设置于所述的鞘液流通道与所述的液体微流通道的相交点的下方；所述的鞘液流通道中通入有鞘液流。

5.根据权利要求4所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的鞘液流通道相对称的设置于所述的液体微流通道的两侧，所述的鞘液流通道与所述的液体微流通道之间的夹角的角度为20°至45°范围内的任意值。

6.根据权利要求1或2所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的入射端光纤固定槽的靠近所述的入射端微透镜组的一端部具有呈阶梯状的第一定位件，所述的入射光纤的端面抵在所述的第一定位件上而与所述的入射端光纤固定槽的端面之间形成一间隙；

所述的出射端光纤固定槽的靠近所述的出射端微透镜组的一端部具有呈阶梯状的第二定位件，所述的出射光纤的端面抵在所述的第二定位件上而与所述的出射端光纤固定槽的端面之间形成一间隙。

7.根据权利要求1或2所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的液体微流通道的截面呈矩形；所述的入射端光纤固定槽的截面、所述的出射端光纤固定槽的截面均为矩形。

8.根据权利要求1或2所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的液体微流通道的两端通过截面为圆形的通道所形成的液体微流通道入口和液体微流通道出口连接至所述的芯片本体的表面。

9.根据权利要求4所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的鞘液流通道的截面为矩形，其一端通过截面为圆形的通道所形成的鞘液流通道入口连接至所述的芯片本体的表面。

10.根据权利要求1所述的微型液体颗粒计数器芯片，其特征在于：所述的芯片本体由下板和上板键合为一体形成；所述的芯片本体为石英玻璃材质，其长和宽均为30mm，厚度为3mm。