[实用新型]薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池，包括衬底，在所述衬底上设置化合物透明导电薄膜层、光电转化薄膜层以及背电极层，其特征在于，所述化合物透明导电薄膜层的一侧设置银薄膜层。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述银薄膜层的厚度为15nm,其光学透过率大于90%，方块电阻小于5Ω/□。

3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述衬底的一侧设置所述化合物透明导电薄膜层，所述化合物透明导电薄膜层远离所述衬底的一侧设置所述银薄膜层，所述银薄膜层远离所述化合物透明导电薄膜层的一侧设置所述光电转化薄膜层，所述光电转化薄膜层远离所述银薄膜层的一侧设置背电极层。

4.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述衬底的一侧设置所述背电极层，所述背电极层远离所述衬底的一侧设置所述光电转化薄膜层，所述光电转化薄膜层远离背电极层的一侧设置所述银薄膜层，所述银薄膜层远离所述光电转化薄膜层的一侧设置所述化合物透明导电薄膜层。

5.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述衬底的一侧设置所述银薄膜层，所述银薄膜层远离所述衬底的一侧设置所述化合物透明导电薄膜层，所述化合物透明导电薄膜层远离所述银薄膜层的一侧设置所述光电转化薄膜层，所述光电转化薄膜层远离所述化合物透明导电薄膜层的一侧设置所述背电极层。

6.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述衬底的一侧设置背电极层，所述背电极层远离所述衬底的一侧设置所述光电转化薄膜层，所述光电转化薄膜层远离所述背电极层的一侧设置所述化合物透明导电薄膜层，所述化合物透明导电薄膜层远离所述光电转化薄膜层的一侧设置银薄膜层。

7.根据权利要求1～6任一所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述化合物透明导电薄膜层和/或所述光电转化薄膜层的一侧设置有绒面结构。

8.根据权利要求5所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述衬底与所述银薄膜层之间设置连接层，所述连接层为具有极高光学透过率、与衬底和银薄膜层结合良好的氧化物薄膜层。

9.根据权利要求1～6任一所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，

所述化合物透明导电薄膜层为氧化锌铝薄膜层、掺氟氧化锡薄膜层、氧化铟锡薄膜层、掺硼氧化锌薄膜层、掺铝氧化锌薄膜层中的任意一种；

所述背电极层为金属膜层；

所述光电转化薄膜层为硅薄膜层。