[实用新型]蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统

权利要求书

1.一种蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统，其特征在于：包括主控制器模块（1）、与主控制器模块（1）相接的人机交互模块（2）和用于对蓝宝石晶体生长炉内压力进行监控的炉压监控系统，以及用于对蓝宝石晶体生长炉内坩埚杆和籽晶杆的运动进行控制的运动控制系统，所述炉压监控系统包括用于对蓝宝石晶体生长炉内压力进行实时检测的压力变送器（3）、用于对蓝宝石晶体生长炉内压力进行实时控制的控压泵（4）和用于对控压泵（4）的电机进行变频调速的变频器（5），所述变频器（5）与所述主控制器模块（1）的输出端相接；所述运动控制系统包括与所述主控制器模块（1）相接的CANopen分线盒（6），以及通过CANopen总线与所述CANopen分线盒（6）相接的坩埚杆伺服驱动器（7）和籽晶杆伺服驱动器（8），所述坩埚杆伺服驱动器（7）的输出端接有用于带动坩埚杆运动的坩埚杆伺服电机（9），所述坩埚杆伺服驱动器（7）的输入端接有用于对坩埚杆伺服电机（9）的运转位置和速度进行检测的坩埚杆电机编码器（10），所述籽晶杆伺服驱动器（8）的输出端接有用于带动籽晶杆运动的籽晶杆伺服电机（11），所述籽晶杆伺服驱动器（8）的输入端接有用于对籽晶杆伺服电机（11）的运转位置和速度进行检测的籽晶杆电机编码器（12）。

2.按照权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统，其特征在于：所述主控制器模块（1）为PLC模块。

3.按照权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统，其特征在于：所述人机交互模块（2）为触摸式液晶显示屏。

4.按照权利要求1、2或3所述的蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统，其特征在于：所述人机交互模块（2）通过Modbus总线与所述主控制器模块（1）相接。