[实用新型]半导体封装用绷片机构有效
申请号: | 201220705925.2 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN203013691U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 陈钢 | 申请(专利权)人: | 无锡创立达科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214142 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 用绷片 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种绷片机构,尤其是一种半导体封装用绷片机构,属于半导体封装的技术领域。
背景技术
在半导体封装粘片工序中,绷片机构是粘片设备上非常重要的一个硬件配置,绷片机构的结构完善性,对粘片的效率与质量起着一个先导作用。
传统的绷片机构,使用前必须先将有芯片的圆片通过圆片扩张机构进行扩张。扩张时先将圆片固定在两个内嵌的塑料圆环内,再将圆环放置在圆片扩张机构内,然后才能进行粘片。该类型的绷片机构不但占用了人力,增加了工序,还由于它是将圆片冷扩张,扩张的效果差、效率低、同时在扩张过程中给芯片的完好带来一定的风险,且在卸片时还需人工操作。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种半导体封装用绷片机构,其结构简单紧凑,使用方便,自动化程度高,提高扩张质量,安全可靠。
按照本实用新型提供的技术方案,所述半导体封装用绷片机构,包括扩片底板,所述扩片底板上设有固定连接的扩片环,所述扩片环上方设有扩片中环,所述扩片中环的上端与扩片上盖固定连接,扩片上盖通过扩片底板上的气缸导柱位于扩片底板上,扩片上盖并能沿气缸导柱在扩片上盖上升降。
所述扩片环上设有对称分布的入口导轨,所述入口导轨与扩片环固定连接。所述扩片底板上设有报警顶针。
所述扩片环包括扩片环底板,所述扩片环的中心区设有扩片环通孔,扩片环底板的上端形成支撑定位环;扩片中环包括中环底板,所述扩片中环的中心区设有中环通孔,中环底板上形成压紧定位环,所述压紧定位环与支撑定位环对应配合。
所述扩片上盖上设有上盖通孔。
本实用新型的优点:扩片底板上设置扩片环,扩片环上设置扩片中环及扩片上盖,扩片上盖及扩片中环能沿气缸导柱升降;通过扩片环与扩片中环的对应配合实现绷片过程,并能实现加热、卸片的操作,结构简单紧凑,使用方便,自动化程度高,提高扩张质量,安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型扩片上盖的结构示意图。
图3为图2的A-A剖视图。
图4为本实用新型扩片环的结构示意图。
图5为本实用新型扩片中环的结构示意图。
附图标记说明:1-扩片底板、2-报警顶针、3-气缸导柱、4-扩片上盖、5-扩片中环、6-入口导轨、7-扩片环、8-窗口、9-上盖通孔、10-扩片环底板、11-扩片环通孔、12-支撑定位环、13-中环底板、14-压紧定位环及15-中环通孔。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1所示:为了能提高圆片绷片的自动化程度,提高扩片质量,本实用新型包括扩片底板1,所述扩片底板1上设有固定连接的扩片环7,所述扩片环7上方设有扩片中环5,所述扩片中环5的上端与扩片上盖4固定连接,扩片上盖4通过扩片底板1上的气缸导柱3位于扩片底板1上,扩片上盖4并能沿气缸导柱3在扩片上盖4上升降。
具体地,通过扩片上盖4沿气缸导柱3的升降运动,将圆片压紧固定在扩片环7与扩片中环5之间。扩片环7上设置对称分布的入口轨道6,所述入口轨道6之间的距离与圆片的外径相一致,圆片通过入口轨道6送入扩片环7与扩片中环5之间,并由扩片环7支撑。扩片底板1上设有报警顶针2,所述报警顶针2通过与接近开关等配合,对扩片上盖4的运动进行限位。
如图2和图3所示:所述扩片上盖4上设置上盖通孔9,所述上盖通孔9贯通扩片上盖4。
如图4和图5所示:所述扩片环7包括扩片环底板10,所述扩片环7的中心区设有扩片环通孔11,扩片环底板10的上端形成支撑定位环12;扩片中环5包括中环底板13,所述扩片中环5的中心区设有中环通孔15,中环底板13上形成压紧定位环14,所述压紧定位环14与支撑定位环12对应配合。
本实用新型具体实施例中,支撑定位环12的外径大于压紧定位环14的外径,从而当圆片支撑在支撑定位环14上时,通过压紧定位环14能够将圆片压紧在压紧定位环14与支撑定位环12之间。扩片环7通过扩片环底板10固定在扩片底板1上,扩片中环5通过中环底板13固定在扩片上盖4上。扩片环7、扩片中环5、扩片上盖4及扩片底板1连接后,通过扩片环通孔11、中环通孔15及上盖通孔9形成窗口8。
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