[实用新型]线弯曲监控系统和线锯装置

说明书

技术领域

本公开案的实施例涉及线弯曲监控系统和线锯装置。具体来说，本公开案的实施例涉及线弯曲监控系统和用于锯切用于太阳能电池的半导体材料的线锯装置。 

背景技术

本文的半导体线锯或又叫“线锯”、“线锯装置”或“半导体线锯装置”，用以切割由硬质材料（例如，硅）制成的工件。使用用于修剪、切成方形或切片的线锯切割工件或结晶块或将工件或结晶块制成晶圆。 

在这些装置中，从线轴馈送线，并且由线导向圆筒引导和张紧线。不同类型的线可用于线锯，所述不同类型的线例如与浆料中的碳化硅颗粒组合使用的那些线和通常与冷却剂组合使用的金刚石线。大体来说，硬质材料（诸如，碳化硅或金刚石）磨蚀工件以进行切割。 

在切割期间，线沿着所述线的长度迅速地移动，所述方向在本文也称为“水平地”，并且工件通过工件供应板或工件供应台沿切割方向相对缓慢地移动，所述切割方向大致上垂直于线的方向（本文也称为“垂直地”）。由此沿着切割方向施加线对工件的垂直力，并且工件对线的反应力使线沿与切割方向相反的方向变形或弯曲。如果线弯曲增加，那么在弯曲的某一值处，所述线弯曲可能导致线断裂，所述线断裂需要操作耗时地更换线。线断裂和后续的线更换降低线锯的整体效率。另一方面，为了由操作员测量弯曲而间歇停止切割工艺是耗费时间和成本的。 

因此，需要降低线断裂的发生率或完全避免线断裂的发生，以实现线锯的较高效率。 

实用新型内容

鉴于上文所述，提供一种用于线锯装置的线弯曲监控系统、一种线锯装置、一种用于监控线锯装置中线弯曲的方法和一种用于操作线锯装置的方法。 

根据一个方面，提供一种用于半导体线锯装置的线弯曲监控系统。所述线弯曲监控系统包括传感器布置，所述传感器布置经配置以邻近于线锯装置的线定位，其中所述传感器布置适合检测线的弯曲，其中所述传感器布置包括感应传感器、电容传感器和接触传感器中的至少一个。 

根据另一方面，所述线弯曲监控系统可进一步包括适合旋转所述传感器的致动器。 

根据又一方面，提供了一种线锯装置。所述线锯装置包括用于半导体线锯装置的线弯曲监控系统。所述线弯曲监控系统包括传感器布置，所述传感器布置经配置以邻近于所述线锯装置的线定位，其中所述传感器布置适合检测所述线的弯曲，其中所述传感器布置包括感应传感器、电容传感器和接触传感器中的至少一个。 

根据另一方面，所述线锯装置还可包括至少两个用于引导所述线的线导向装置。 

根据另一方面，提供一种用于监控半导体线锯装置中线弯曲的方法。所述用于监控线弯曲的方法包括：执行线的感应测量、电容测量和接触测量中的至少一个；检测线的弯曲。 

另外描述一种用于操作半导体线锯装置的方法。所述方法包括：设置至少一个线锯装置参数和借助于所述线切割工件。所述方法另外包括：如本文所描述的监控线的线弯曲，和在线弯曲超过阈值时调整至少一个线锯装置参数。 

实施例还针对用于执行所公开方法的设备，并且实施例包括用于执行所描述的每一方法步骤的设备部分。可通过硬件组件、由适当软件编程的电脑、由上述两者的任何组合或以任何其它方式执行这些方法步骤。 

通过监控线弯曲提供的关于弯曲的信息对调整台速度和/或切割速度特别有用，从而最小化线的磨损和断裂并最大化产量和切割成品率。 

由从属权利要求、说明书和附图显而易见可与上文实施例组合的其它优点、特征、方面和细节。 

附图说明

因此，可详细理解本实用新型的上述特征结构的方式，即上文简要概述的本实用新型的更具体描述可参照实施例进行。附图涉及本实用新型的实施例，并在下文中描述附图： 

图1示出根据本文描述的实施例的用于线锯装置的线弯曲监控系统的示意性横截面图； 

图2示出根据本文描述的实施例的用于线锯装置的线弯曲监控系统的示意性横截面图； 

图3示出根据本文描述的实施例的线锯装置中的线弯曲监控系统的示意性横截面图； 

图4示出线锯装置中的线弯曲监控系统的示意性横截面图，其中线锯装置的线是弯曲的； 

图5示出根据本文描述的实施例的线弯曲监控系统的传感器板的示意图； 

图6示出根据本文描述的实施例的线锯装置中的线弯曲监控系统的示意性横截面图； 

图7示出根据本文描述的实施例的线锯装置中的线弯曲监控系统的示意性横截面图； 

图8示出根据本文描述的实施例的线锯装置中的线弯曲监控系统的示意性横截面图； 

图9示出根据本文描述的实施例的线锯装置中的线弯曲监控系统的示意性横截面图；