[实用新型]设备控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及通讯技术领域，特别涉及设备指令控制系统的架构。

背景技术

随着半导体设备控制的自动化程度的不断提高，用户通过工作站控制半导体设备，进行各种操作。请参考图1所示的现有的设备控制系统的结构示意图。具体地，半导体设备1为MOCVD设备，其包括多个被控制模块，图中示出了第一被控制模块11、第二被控制模块12、第三被控制模块13，根据实际需要，所述第一被控制模块11可以为温控系统，第二被控制模块12可以为设备的压力控制系统，第三被控制模块可以为反应气炉系统等。工作站2的结构可以与工作站1的结构相同或不同，比如所述工作站2可以包括多个控制模块，第一控制模块21、第二控制模块22、第三控制模块23，所述第一控制模块21用于控制第一被控制模块11，所述第二控制模块22用于控制第二被控制模块12，所述第三控制模块23用于控制第三被控制模块13。

在实际中，发现各个控制模块只能在同一工作站上执行，造成系统及各个功能模块的可携带性(portablity)有待提高，随着半导体设备的腔室增多，被控制模块增多，工作站中集成的控制模块也增多，影响整个设备控制系统的处理速度和可靠性。

实用新型内容

本实用新型实施例解决的问题是提供了一种设备控制系统，其中的各个功能模块能够在灵活配置在各个工作站上，提高了系统及各个功能模块的可靠性，也提高了设备控制系统的处理速度、可靠性。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种设备控制系统，包括：

至少两个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；

地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；

启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块，所述地址可通过软件编程的方式更新。

可选地，还包括：优先级存放单元，用于存放各个控制模块激活的优先级，所述启动配置服务单元依照优先级的次序激活各个控制模块。

可选地，所述启动配置服务单元并行激活全部要激活的控制模块。

可选地，每一工作站具有通讯单元，用于在所述工作站中的控制模块激活之后将控制模块对应的指针地址发送至所述启动配置服务单元，所述启动配置服务单元还用于存储所述指针地址，所述指针地址用于指向与其对应的控制模块。

可选地，所述地址为所述工作站的通讯单元的物理地址。

可选地，还包括：常用地址指针存放单元，用于标记常用控制模块，在所述常用控制模块激活后，所述常用地址指针存放单元还用于从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针。

可选地，所述常用地址指针存放单元设置于启动配置服务单元或通讯单元中。

可选地，所述设备控制模块应用于半导体设备的控制。

可选地，所述半导体设备为MOCVD设备。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型提供的设备控制系统中设置的地址配置单元能够对控制模块分配地址，所述启动被指服务单元能够基于所述地址激活控制模块，当需要在各工作站新增控制模块或交换控制模块时，只需要在地址配置单中对要激活的控制模块的物理地址进行更新即可，从而各个控制模块能够灵活的设置在各个工作站中，提高了设备控制系统及各个控制模块的可携带性，各个控制模块可以合理分配在各个工作站，从而避免一个工作站处理过多的控制模块，加快了设备控制系统的处理速度、可靠性；

进一步优化地，通过所述控制模块的通讯单元标记常用控制模块，在激活所述常用控制模块后，从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针，从而进一步加快处理速度。

附图说明

图1是现有的设备控制系统的结构示意图；

图2是本实用新型一个实施例的设备控制系统的结构示意图。

具体实施方式

现有的设备控制系统的各个控制模块只能在同一工作站上执行，造成系统及各个功能模块的可携带性(portablity)有待提高，各个控制模块中的软件部分只能安装并且运行在同一工作站。随着半导体设备越来越复杂，其中的功能模块和软件部分增多，并且对工作站的硬件要求更好，仅将控制模块设置在同一工作站，会使得工作站的处理速度和可靠性降低。由于受到工作站资源的限制，整个设备控制系统的可扩展性也受到了限制。

为了解决上述问题，本实用新型的发明人提出的设备控制系统包括：

至少两个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；

地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；