[实用新型]一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置有效
| 申请号： | 201220714836.4 | 申请日： | 2012-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN203112917U | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 沉积 设备 冷却水 加热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置，其包括储水槽、供水管路、水帮浦所组成。
2.根据权利要求1所述之一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置，其特征在于,储水槽设有接温度计及液位传感器及排水管，储水槽为不锈钢材质。
3.根据权利要求1所述之一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置，其特征在于,冷却水入口管路设有水路电磁阀。
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