[实用新型]一种自测量压电泵

权利要求书

1.一种自测量压电泵，其特征在于：泵盖和阀盖分别通过螺钉安装在泵体的两侧；在所述泵盖和泵体之间通过密封圈压接有压电振子，在所述阀盖和泵体之间粘接有悬臂梁型进口阀和出口阀；所述压电驱动器、进口阀和出口阀均由压电薄膜和基板粘接而成；所述压电驱动器、泵体、出口阀及进口阀共同构成泵腔；所述进口阀、出口阀及压电驱动器分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。

2.根据权利要求1所述一种自测量压电泵，其特征在于：可采用出口阀或进口阀的输出电压表征压电泵输出压力和流量，即有：

P=[a4(1-b)2-2a(2a2-3a+2)(1-b)+1]3a(1-a)bg31hL2lpVg;]]>

Q=4(1-a+ab)L23a(1-a)bg31Eph2lqfVg;]]>

其中：a＝1-h_p/h，b＝E_m/E_p，h、L分别为压电悬臂梁的总厚度和长度，h_p为压电晶片厚度，g₃₁是压电电压常数，E_p和E_m分别是压电材料和金属基板的杨氏模量，l_p和l_q分别为压力和流量的标定系数，f为驱动电压频率，V_g为出口阀或进口阀的输出电压。