[实用新型]一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置有效
| 申请号： | 201220718854.X | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203007396U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 太阳能电池 溅射 气体 混合 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，该混合装置有两个制程气体进入口及一个气体引出出口，通过内置气体隔板的设置使气体流通路径变长，而在此路径中两种制程气体充分混合。
2.根据权利要求1所述之一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，其特征在于，混合装置为一不锈钢内抛光圆桶容器，直径10cm。
3.根据权利要求1所叙述之一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，其特征在于，气体进入口及气体引出出口为1/2寸直径圆管接头。
4.根据权利要求1所叙述之一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，其特征在于，内置气体隔板为4片内置隔板厚度3mm，长度150mm，与对向桶壁留有50mm宽度使气体通过，而隔板之间留有50mm间隙。
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