[实用新型]一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置有效
| 申请号： | 201220719615.6 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203033774U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 黎学明;李晓林;杨文静;吴友恒;罗彬彬;徐永燕 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 张群峰;郭海彬 |
| 地址： | 400030 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 制备 三氯氢硅 微波 等离子体 反应 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置，其特征在于，包括：
一个带有加热装置的四氯化硅储罐；
一个氢气储罐；
一个氩气储罐；
一个具有保温功能的混合气体储罐，与四氯化硅储罐和氢气储罐相连；
一个微波等离子体反应器，该反应器通过装有计量阀门的管道分别与混合气体储罐和氩气储罐相连；
一台微波等离子发生器，通过微波匹配器与微波等离子体反应器的波导腔相连；
一个除尘器，与微波等离子体反应器的反应腔相连，微波等离子体反应腔中的气体通过压力差进入除尘器；
一个冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压差进入冷凝器；
一个气液分离器，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离器；
一个气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，微波等离子发生器频率为300MHz，产生6000～15000K的等离子体。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，微波等离子体反应器有两个气体进料口，一个为四氯化硅和氢气的进料口，一个为氩气的进料口。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，微波匹配器通过耦合作用于波导腔。
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