[实用新型]一种单晶炉用石墨埚

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，更具体地说，涉及一种单晶炉用石墨埚。

背景技术

单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备，在单晶炉的内部热场中，用于生产单晶硅的多晶硅原料盛放于石英埚中，石英埚安置于石墨埚01中，石墨埚01放置在埚托02上，如图1所示。其中，石墨埚由三瓣埚块拼接而成。

单晶炉在生产单晶硅的过程中，在热场中会产生硅蒸汽，且在热场的高温环境中，硅蒸汽会与热场中的石墨埚01和埚托02发生化学反应而在其表面产生杂质，因此，在每次生产完成后，都需要对石墨埚01和埚托02进行打磨而去除其表面的杂质。石墨埚01和埚托02在长期使用的过程中，经过多次的打磨，导致石墨埚01与埚托02配合的接触面发生变形，使得其原本配合接触的接触面之间产生缝隙，且缝隙随着打磨次数的增加而越来越大，如图2所示，又由于石墨埚01是由三瓣埚块拼接而成，所以越来越大的缝隙会导致埚块在自身重力的作用下而向远离其他埚块的方向发生倾斜，使得埚块的顶部与设置在石墨埚01外侧的加热器的距离减小，进而产生石墨埚01与加热器之间发生打火的风险，一旦石墨埚01与加热器之间发生打火事故，会造成加热器和石墨埚01损坏，甚至造成单晶炉无法正常运行。为防止事故发生，就需要更换石墨埚01或埚托02，而每个石墨埚01为2.9万元，每个埚托02为0.68万元，更换部件会大大增加单晶炉的生产成本。

综上所述，如何减少部件的更换以降低生产成本，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉用石墨埚，其避免了埚块发生倾斜，进而避免了与加热器之间发生打火事故，保证了单晶炉的正常运行，也无需更换部件，节约了生产成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶炉用石墨埚，其包括：

能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块，多瓣所述埚块上均设置有第一凹槽和第二凹槽；

设置在不同所述埚块上相互配合的所述第一凹槽和第二凹槽内以连接任意相邻的两瓣所述埚块的连接件。

优选的，上述单晶炉用石墨埚中，所述第一凹槽和所述第二凹槽均为弧形凹槽。

优选的，上述单晶炉用石墨埚中，所述第一凹槽和所述第二凹槽靠近所述埚块的顶部边缘。

优选的，上述单晶炉用石墨埚中，所述第一凹槽和所述第二凹槽的截面形状均为L形。

优选的，上述单晶炉用石墨埚中，所述第一凹槽和所述第二凹槽均开设在所述埚块的外侧壁上。

优选的，上述单晶炉用石墨埚中，所述连接件为钼丝。

本实用新型提供的单晶炉用石墨埚中，在每瓣埚块上均设置有第一凹槽和第二凹槽，其中第一凹槽与相邻埚块上的第二凹槽配合，第二凹槽与另一相邻的埚块上的第一凹槽配合，连接件设置在第一凹槽和第二凹槽配合形成的较大的凹槽中以将两个相邻的埚块连接为一体。本实用新型提供的单晶炉用石墨埚，在其上设置凹槽，并在凹槽内设置连接件，以将多瓣埚块连接为一体，避免了埚块因与埚托存在缝隙而发生倾斜，避免了石墨埚与加热器之间发生打火的风险，减少了部件的损坏几率，保证了单晶炉的正常运行，也无需更换部件，节约了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的石墨埚与埚托的配合剖视图；

图2为现有技术提供的石墨埚与埚托经过打磨产生缝隙后的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的单晶炉的石墨埚的剖视结构图；

图4为本实用新型实施例提供的单晶炉的石墨埚的俯视图。

以上图1-图4中：

石墨埚01、埚托02；

埚块1、第一凹槽2、第二凹槽3。

具体实施方式

为了进一步理解本实用新型，下面结合实施例对本实用新型优选实施方式进行描述，但是应当理解，这些描述只是为了进一步说明本实用新型的特征和优点，而不是对本实用新型权利要求的限制。

本实用新型提供了一种单晶炉用石墨埚，其避免了埚块发生倾斜，进而避免了与加热器之间发生打火事故，保证了单晶炉的正常运行，也无需更换部件，节约了生产成本。