[实用新型]等离子体放电装置

权利要求书

1.一种等离子体放电装置，其特征在于：包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；

放电装置在工作时，所述金属外壳接地；

所述射频电极被介质阻挡层包覆；

两个射频电极之间为等离子体喷口；

所述匀气板位于所述介质阻挡层上方；

所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口，到达所述等离子体喷口，并在常压下，电源接通后，在所述喷口处形成大面积的辉光等离子体，等离子体在气流的携带下向外喷出。

2.根据权利要求1所述的等离子体放电装置，其特征在于：

所述匀气板分为三层，其中，靠近所述射频电极的一层匀气板设置有用于收缩气流的出口，使得工作气体通过所述第三出口后到达射频电极之间的喷口。

3.根据权利要求2所述的等离子体放电装置，其特征在于：

第一层匀气板由两个匀气板构成，该两个匀气板之间设置有气体出口，该两个该匀气板与所述金属外壳之间均设置有气体出口；

第二层匀气板由一个匀气板构成，该匀气板与所述金属外壳之间均设置有气体出口；

第三层匀气板由两个所述匀气板构成，该两个匀气板分别与所述金属外壳连接，该两个匀气板之间设置有用于气体收缩气流的出口。

4.根据权利要求3所述的等离子体放电装置，其特征在于：

在第三层匀气板设置的所述用于气体收缩气流的出口面积小于两个射频电极之间的面积。

5.根据权利1所述的等离子体放电装置，其特征在于：

两个所述射频电极均是呈半圆形金属条，在装置放电时，等离子体仅沿着半圆形弧面转移。

6.根据权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于：

所述金属壳体表面设置有带孔的绝缘块，所述射频电源通过所述绝缘块与所述射频电极的连接。