[实用新型]一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空设备电极密封，特别是一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件

技术背景

蓝宝石晶体炉为高真空设备，在晶体生长过程中，炉内加热器同过铜电极与炉外供电系统连接，为保证炉内真空度，炉体需要与电极之间进行密封，同时需要保证炉体与电极之间为绝缘状态。一般电极密封结构采用多道胶木环与橡胶O形圈密封，该结构有以下几个缺点：

首先胶木部分位于炉内，受炉内高温烘烤容易变形开裂，导致密封实效，需要定期更换；其次电极密封是通过电极侧壁与电极孔内壁之间放置密封圈，密封圈受胶木挤压变形来实现的，由于过电极侧壁与电极孔内壁之间存在O形圈，两者为弹性接触，受力后会产生形变，因此不能很好保证电极与炉体的垂直度，以至于影响内部加热器的放置。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，该组件结构简单，使用方便，采用本组件后，密封面在炉体外不存在高温问题，因此使用寿命长，不需经常更换，同时能够保证电极与炉体的垂直度。

为达到上述发明目的，本实用新型采用以下技术方案：

这种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，它包括圆形绝缘板、O形圈、O形圈以及连接螺钉，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I，密封槽II，密封槽内分别设有O形圈4、O形圈5，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面II、炉体的电极孔的台面台面I一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔，通孔中穿有螺钉，螺钉外围设有绝缘套以及绝缘垫片。

所述的通孔(13)的数量为3-6个。

所述的圆形绝缘板为橡胶板。

本实用新型的优点是：组件结构简单，使用方便，且密封面在炉体外不存在高温问题，因此使用寿命长，不需经常更换，同时能够保证电极与炉体的垂直度。

附图说明

图1：本实用新型安装使用状态图

图2：电极结构示意图

图3：真空炉炉体的电极孔结构示意图

图4：本实用新型组件中绝缘板结构示意图

图1、图2、图3、图4中，1为电极，2为电极孔，3为圆形绝缘板，4为O形圈，5为O形圈，6为绝缘套，7为绝缘垫片，8为螺钉，9为圆通孔，10为台面I，11为螺孔，12为圆孔，13为圆孔，14为密封槽I，15为密封槽II，16为台面II。

具体实施方式

本组件包括：圆形绝缘板3，圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I  14，密封槽II  15，密封槽内分别设有O形圈4、O形圈5，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面II、炉体电极孔的台面I一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔，通孔中穿有螺钉，螺钉与电极连接处设有绝缘套以及绝缘垫片。圆形绝缘板两端面设有密封槽，位置位于孔与孔之间。如图4所示。

电极和绝缘板通过螺钉与炉体电极孔连接，在密封台面II 16和密封台面I之间放置圆形绝缘板。

电极与炉体电极孔保持铅直。

电极的一端设有沿径向凸起的密封台面II，台面沿径向开有3个以上对称圆通孔，其孔数与绝缘板相同，如图2所示。

炉体电极孔处设有与电极密封台面II尺寸对应的密封台面I，密封台面I对应电极台面II上孔开螺孔，如图3所示。