[实用新型]蒸镀用掩模板有效
| 申请号： | 201220723266.5 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203021638U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军;钱超 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀用掩 模板 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔，其特征在于：所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，每个所述缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。
2.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述掩模板横向设置有N列蒸镀孔，纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别设置有一个排所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别设置有一个所述缓冲孔，形成一圈缓冲带。
3.如权利要求2所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。
4.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述缓冲孔为矩形通孔或盲孔。
5.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述掩模板由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为30～100μm。
6.如权利要求5所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述板框由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为14-50 mm，宽度为30-80 mm。
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