[实用新型]改进的瓶装高纯气体充装系统有效
| 申请号： | 201220725818.6 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203099312U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 朱刚 | 申请（专利权）人： | 成都成钢梅塞尔气体产品有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610300 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 瓶装 高纯 气体 系统 | ||
【权利要求书】：
一种改进的瓶装高纯气体充装系统，包括灌装瓶（1）、充装排（2）和安装在充气排（2）入口处的充装阀（21）；其特征在于：还包括与设置在充装阀（21）和第一个灌装瓶（1）之间的充装排（2）上的采样点连接的杂质分析装置（4）以及设置在采样点和充装阀（21）之间的真空泵（3）。
根据权利要求1所述的改进的瓶装高纯气体充装系统，其特征在于：所述杂质分析装置（4）包括分别与采样点连接的水分分析仪（41）和微量氧分析仪（42）。
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