[实用新型]防刮伤的掩模板

说明书

技术领域

本实用新型涉及OLED显示及照明技术领域，特别涉及一种防刮伤的掩模板。

背景技术

有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在 OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管） 技术中，真空蒸镀中的掩模板技术是一项非常重要和关键的技术，该技术的等级直接影响 OLED 产品的质量和制造成本。

传统工艺的蒸镀用掩模板一般采用电铸、激光或蚀刻工艺在掩模板上加工蒸镀孔，在蒸镀时，有机发光材料被加热成蒸汽，通过蒸镀孔蒸镀到显示屏的玻璃基板上。由于玻璃基板的有ITO的一面直接与掩模板接触，而且在蒸镀时，通常需要用强力磁铁将掩模板贴附在显示屏的玻璃基板上，而加工出的蒸镀孔的边缘常常会有毛刺，非常容易刮伤玻璃基板上的ITO层，导致玻璃基板的损伤，这对于OLED显示屏的加工是非常不利的。

发明内容

本实用新型的主要目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种防刮伤的掩模板，可以避免蒸镀孔上的毛刺对玻璃基板造成损伤，从而提高良品率。

为实现上述发明目的，本实用新型采用以下技术方案。

本实用新型提供一种防刮伤的掩模板，包括ITO接触面和蒸镀面，在所述蒸镀面上设置有蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，在所述ITO接触面上靠近蒸镀孔的边缘设置有半刻槽，所述半刻槽与所述蒸镀孔连通。

优选地，所述半刻槽的截面为矩形或锥形。

优选地，所述蒸镀孔为一个或者多个方孔或圆孔。

优选地，所述掩模板的材料为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金中的任意一种，厚度为18～45μm。

本实用新型采用在ITO接触面上靠近蒸镀孔的边缘设置半刻槽，可有效避免位于该边缘处的玻璃基板被毛刺刮伤，从而可以提高OLED显示屏加工的良品率，减小材料损失，进而降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例中防刮伤的掩模板的结构示意图。

图2是本实用新型实施例中防刮伤的掩模板的使用状态示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

以下将结合附图及具体实施例详细说明本实用新型的技术方案，以便更清楚、直观地理解本实用新型的发明实质。

图1是本实用新型实施例中防刮伤的掩模板的结构示意图；图2是本实用新型实施例中防刮伤的掩模板的使用状态示意图。

参照图1和图2所示，本实用新型提供一种防刮伤的掩模板1，该掩模板1包括ITO接触面11和蒸镀面12，在蒸镀时，ITO接触面11与OLED显示屏的玻璃基板3贴合，蒸镀面12朝向蒸发源。在蒸镀面12上设置有蒸镀孔2，蒸镀孔2自蒸镀面12贯穿至ITO接触面11，并且，在ITO接触面11上靠近蒸镀孔2的边缘设置有半刻槽4，该半刻槽4与蒸镀孔2连通，形成凹陷区。

具体地，本实施例的半刻槽4的截面为矩形，从而上述凹陷区为一个方形或圆柱形的凹坑，或者，上述半刻槽4的截面为锥形，从而上述凹陷区为一个圆锥形或棱锥形。

本实施例的掩模板1上的蒸镀孔2可以是一个或多个，可以是方孔，也可以是圆孔，可以应用于多种蒸镀场合，适于生产多种形状和大小的OLED显示屏。

同时，本实施例的掩模板1的材料可以是镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金中的任意一种，厚度为18～45μm。由于在掩模板1上加工出蒸镀孔2后，在ITO接触面11上是往往会形成毛刺，在蒸镀时，需要将掩模板1与玻璃基板3具有ITO层的一面紧密贴合在一起，由于毛刺的存在，极易对ITO层造成刮伤，从而损坏玻璃基板3，甚至使玻璃基板3报废，造成良品率的下降，增加生产成本。而本实施例在ITO接触面11上靠近蒸镀孔2的边缘设置有上述半刻槽4，可将蒸镀孔2边缘的毛刺去除，有效避免ITO层和玻璃基板3被毛刺刮伤，从而提高显示屏的良品率。

综上所述，本实用新型采用在ITO接触面上靠近蒸镀孔的边缘设置半刻槽，可有效避免位于该边缘处的玻璃基板被毛刺刮伤，从而可以提高OLED显示屏加工的良品率，减小材料损失，进而降低生产成本。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制其专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。