[实用新型]一种掩模板有效
| 申请号： | 201220727273.2 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203021640U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军;钱超 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模板 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩模板，包括ITO接触面和蒸镀面，在所述蒸镀面上设置有多个蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈阶梯状，其特征在于：所述蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段，所述蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状。
2.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于：所述第一段和第二段均由激光切割而成，且切割方向相同。
3.如权利要求2所述的掩模板，其特征在于：所述第二段呈锥形，所述锥形的锥角为4~10度。
4.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于：所述掩模板的厚度为18～190μm。
5.如权利要求4所述的掩模板，其特征在于：所述第二段的垂直深度为10～50μm。
6.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于：所述掩模板的材料为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金中的任意一种，厚度为18～45μm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唐军;钱超，未经唐军;钱超许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220727273.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光电反馈执行装置及空调风门控制装置
- 下一篇：一种空调室内机的导风板
- 同类专利
- 专利分类
