[实用新型]改良的硅片收集装置有效
申请号: | 201220729763.6 | 申请日: | 2012-12-26 |
公开(公告)号: | CN203357709U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/04 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改良 硅片 收集 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种改良的硅片收集装置,包括收集槽,其特征为,所述收集槽两壁中各设有一空腔,所述空腔外壁上设有出风装置,内壁均匀设有若干纵向通孔。
2.如权利要求1所述的一种改良的硅片收集装置,其特征为,所述的出风装置内置一定时控制阀。
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