[实用新型]压缩空气回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及压缩空气技术领域，特别是一种压缩空气回收装置。 

背景技术

CDA(Compressed Dry Air)，即为干洁压缩空气，主要用于芯片组及一些电路板的吹洗，是电子行业包括一些机械类行业必不可少的制程气体。 

图1为现有技术工厂目前的CDA系统构成。 

现有常用的CDA系统有两种 

(1)大CDA压缩机：最大设计负荷：14600立方米／小时(湿气)，实际运行最小负荷：10200立方米／小时左右(湿气)，可供干气量为：8500km3／h(20％为干燥器再生消耗) 

(2)小CDA压缩机：CDA管道气量需求气量超过6400立方米／小时，需要运行5台小CDA压缩机。(但是5台小CDA压缩机运行的总功耗大于运行1台大CDA压缩机功耗) 

所以现在CDA系统产能过剩：当客户管道气量小于8500立方米／小时，即使在最低负荷仍然产能过剩，浪费电力。并且CDA系统在低气量运行时，仍有大量的放空。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是将CDA系统和空气分离系统进行联通，保障两个系统的安全稳定性。在两个系统的前端，吸入空气和压缩方式基本一致，将多余的CDA放空气体回收进入空气分离系 统，降低能耗，同时增加了系统的可靠性。 

为解决上述技术问题，本实用新型是按以下技术方案实现的：一种压缩空气回收装置，在压缩机后端设置回收装置； 

所述回收装置主要由控制单元、防倒流单向阀、安全自动阀门组成； 

所述控制单元设置在压缩机下游，其作用是将放空气体引入空气分离系统的管路中； 

放空气体经防倒流单向阀和安全自动阀门后进入空气分离系统； 

本实用新型的积极效果是：通过压缩空气回收装置，减少CDA的放空造成的功耗，将CDA气体回收到了空气分离系统。并且增加了系统运行可靠性，减少了小CDA压缩机运行时的维护工作量，且降低空气分离的主压缩机功耗。 

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。图1是本实用新型结构框图 

图2是本实用新型一种实施例的结构示意图； 

图中，1压缩机       2控制单元     3防倒流单向阀 

      4安全自动阀门     5空气分离系统主压缩机 

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合具体实施方式和附图，对本实用新型做进一步详细说明。在此，本实用新型的示意性实施方式及其说明用于解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。 

图1是本实用新型结构框图，图2为本实用新型所述压缩空气 回收装置的一种实施方式，如图所示，根据客户的实际用气量和压缩机(1)的放空量，调整压缩机(1)的回收量，调节控制单元(2)。将放空气体回收引入到空气分离系统，降低空气分离系统主压缩机(5)的功耗。 

安全控制方面： 

防倒流单向阀(3)主要作用是防止空气分离系统的压缩气体不能倒流入CDA系统。 

安全自动阀门(4)主要作用是当CDA系统放空气体超压，或是不能满足空分主系统要求，则全部排放到大气中。 

防倒流单向阀(3)和安全自动阀门(4)装置都是起到保护CDA系统的作用。