[实用新型]一种晶体生长炉有效
申请号: | 201220733239.6 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN203174225U | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 吕铁铮 | 申请(专利权)人: | 江苏有能光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/20 |
代理公司: | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人: | 全学荣 |
地址: | 212132 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 | ||
1.一种晶体生长炉,包括炉体、坩埚、坩埚盖、环形加热器,环形加热器位于炉体内,坩埚位于环形加热器中,其特征在于:坩埚盖的直径大于坩埚外径,略小于内部环形加热器的内径。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉,其特征在于:所述的坩埚盖(3)的材料为钨钼板。
3.根据权利要求1或2所述的晶体生长炉,其特征在于:所述的坩埚盖(3)的厚度为0.5-3毫米。
4.根据权利要求1所述的晶体生长炉,其特征在于:所述的坩埚盖(3)的中心设有通孔。
5.根据权利要求4所述的晶体生长炉,其特征在于:所述的通孔直径为30-40毫米。
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