[实用新型]蓝宝石单晶成长炉安全阀有效
申请号: | 201220734541.3 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN203051869U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 陈有生;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | F16K17/04 | 分类号: | F16K17/04 |
代理公司: | 上海元一成知识产权代理事务所(普通合伙) 31268 | 代理人: | 赵青 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 成长 安全阀 | ||
【权利要求书】:
1.蓝宝石单晶成长炉安全阀,其特征在于,包括设置在与腔体组合连通的真空管路上的安全阀本体;其中
所述安全阀本体包括:
泄气管,所述泄气管的一端设置在所述真空管路上,所述泄气管与所述真空管路连通;
阀盖,所述阀盖设置在所述泄气管的另外一端上;
连接件,所述连接件设置在所述泄气管上,所述阀盖通过所述连接件与所述泄气管活动连接。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶成长炉安全阀,其特征在于,所述阀盖的直径大于等于所述泄气管的直径。
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