[实用新型]一种铜铟镓硒薄膜电池控制系统

权利要求书

1.一种铜铟镓硒薄膜电池控制系统，包括真空室、蒸发源、基片、加热模块和控制系统，其特征在于所述控制系统仅包括温度控制系统。

2.根据权利要求1所述的铜铟镓硒薄膜电池控制系统，其特征在于所述的控制系统为通过蒸发速率与温度的函数关系协同控制蒸发速率的温度控制系统。

3.根据权利要求1所述的铜铟镓硒薄膜电池控制系统，其特征在于所述的温度控制系统包括红外测温仪和在线扫描式红外测温仪。

4.根据权利要求3所述的铜铟镓硒薄膜电池控制系统，其特征在于在所述真空室内对应共蒸发“三步法”的第一、二和三步区域的加热模块下方分别设置了一个红外测温仪。

5.根据权利要求3所述的铜铟镓硒薄膜电池控制系统，其特征在于在所述真空室内对应共蒸发“三步法”的第二和三步区域之间，加热模块的下方设置在线扫描式红外测温仪。

6.根据权利要求1所述的铜铟镓硒薄膜电池控制系统，其特征在于所述加热模块采用加热器热辐射的方式。