[实用新型]F-θ物镜II有效

申请号：	201220734902.4	申请日：	2012-12-27
公开（公告）号：	CN203025409U	公开（公告）日：	2013-06-26
发明（设计）人：	约格·翁德里希;乌尔里希·克鲁格	申请（专利权）人：	业纳光学系统有限公司
主分类号：	G02B13/00	分类号：	G02B13/00
代理公司：	上海智信专利代理有限公司 31002	代理人：	邓琪
地址：	德国耶拿***	国省代码：	德国;DE
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摘要：
搜索关键词：	物镜 ii
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【权利要求书】：

1.一种F-θ物镜，其特征在于，所述F-θ物镜包括四个独立的透镜，其中一个第一独立的透镜L₁为一个具有焦距f₁的双凹透镜，一个第二独立的透镜L₂为一个具有焦距f₂的凹凸透镜，一个第三独立的透镜L₃为一个具有焦距f₃的平凸透镜，以及一个第四独立的透镜L₄为一个具有焦距f₄的双凸透镜，并且所述F-θ物镜的总焦距为f；其中焦距f₁至f₄与总焦距f的比率满足下列条件：

-0.6<f₁/f<-0.4；

+7.5<f₂/f<+9.0；

+0.7<f₃/f<+0.9；

+0.9<f₄/f<+1.0。

2.如权利要求1所述的F-θ物镜，其特征在于，f₁/f=-0.48，f₂/f=+8.25，f₃/f=+0.81，f₄/f=+1.07。

3.如权利要求2所述的F-θ物镜，其特征在于，所述F-θ物镜的入射光瞳EP被置于距所述第一独立的透镜L₁前方的距离d₁为38.0mm处。

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