[实用新型]光刻显影装置

权利要求书

1.一种光刻显影装置，包括用于向玻璃基板喷涂显影液的喷涂装置以及用于使所述玻璃基板与所述喷涂装置相对移动的传送装置，其特征在于，所述喷涂装置包括控制器以及多个可以喷涂不同浓度的显影液的喷涂单元，每个所述喷涂单元包括多个喷嘴，每个所述喷嘴用于喷涂单一浓度的显影液，所述控制器通过分别控制所述喷涂单元的每个喷嘴的开启与关闭而控制所述喷涂单元喷涂不同浓度的显影液。

2.根据权利要求1所述的光刻显影装置，其特征在于，所述多个喷嘴分别通过管路与不同浓度的显影液的储存装置连接，所述管路上分别设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器电连接，所述控制器通过控制所述电磁阀的通断而控制所述喷嘴的开启与关闭。

3.根据权利要求2所述的光刻显影装置，其特征在于，所述传送装置包括用于传送所述玻璃基板沿一运动路径运动的传动部件，所述喷涂装置固定于所述运动路径上，以使所述喷涂单元向所述玻璃基板喷涂显影液。

4.根据权利要求3所述的光刻显影装置，其特征在于，所述多个喷涂单元沿垂直于所述玻璃基板的运动方向的方向排列于所述玻璃基板的运动路径上。

5.根据权利要求4所述的光刻显影装置，其特征在于，每一所述喷涂单元包括四个所述喷嘴，每一所述喷涂单元的四个所述喷嘴紧密排列在一起。

6.根据权利要求3-5任一项所述的光刻显影装置，其特征在于，所述光刻显影装置还包括驱动所述传动部件振动的振动驱动装置，与所述传动部件连接。

7.根据权利要求6所述的光刻显影装置，其特征在于，所述传动部件包括用于运载所述玻璃基板的运载部件以及安装于所述运载部件的底部的用于承托所述运载部件的托板，所述振动驱动装置为振动电机，所述振动电机的输出轴与所述托板连接，以驱动所述托板沿与所述玻璃基板的运动方向的垂直的方向振动。

8.根据权利要求7所述的光刻显影装置，其特征在于，所述运载部件为多个平行排列的传动辊，所述多个传动辊可旋转地设置于所述托板上，所述多个传动辊在电机的驱动下旋转，以传送所述玻璃基板。

9.根据权利要求8所述的光刻显影装置，其特征在于，所述光刻显影装置还包括固定于所述托板上的多个挡轮，所述多个挡轮分别位于所述玻璃基板的运动路线的两侧，对所述玻璃基板进行限位。