[实用新型]晶片研磨机

权利要求书

1.一种晶片研磨机，包括基座和上研磨机构，上研磨机构包括上研磨盘，其特征在于，基座上设有下研磨机构，下研磨机构包括下研磨盘；在上研磨机构和下研磨机构之间设有限位板，限位板设置在下研磨盘上方，基座上设有用于固定限位板在水平方向上位置的限位装置，限位板上设有若干通透的、用于放置晶片的限位口，这些限位口位于下研磨盘的研磨面范围内。

2.根据权利要求1所述的晶片研磨机，其特征在于，下研磨机构还包括研磨台，下研磨盘设置在研磨台上，研磨台联接在两位式的升降机构上，所述限位装置在基座上的高度与研磨台的高位相对应。

3.根据权利要求2所述的晶片研磨机，其特征在于，所述限位装置包括立柱、拨杆、连接杆和限位块，立柱竖直地设置在基座上，连接杆伸向限位板，限位块固定在连接杆的伸出端部，限位块用于和限位板相抵靠。

4.根据权利要求3所述的晶片研磨机，其特征在于，所述限位板为圆形，限位板的周缘与限位块外端面之间设有若干相互啮合的齿。

5.根据权利要求2、3或4所述的晶片研磨机，其特征在于，所述基座上于研磨台的外周设有一定高度的导向筒。

6.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片研磨机，其特征在于，所述上研磨机构呈悬臂状设置在基座上，上研磨机构可在水平方向平动。

7.根据权利要求6所述的晶片研磨机，其特征在于，所述上研磨机构还包括可水平转动的转动板，上研磨盘通过竖杆偏心地联接在转动板上，上研磨盘的研磨面小于下研磨盘的研磨面，上研磨盘固定在竖杆的下端部，竖杆的上端部间隙地穿过转动板，竖杆的上端部固定有限位件，在重力的作用下，上研磨盘与放置在限位板限位口内的晶片表面相接触。

8.根据权利要求7所述的晶片研磨机，其特征在于，所述上研磨盘和竖杆均为两只，它们对称地设于转动板旋转中心的相对两侧。