[实用新型]一种声表面波射频识别标签有效
| 申请号： | 201220737437.X | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202995781U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 朱小萍 | 申请（专利权）人： | 淮南联合大学;朱小萍 |
| 主分类号： | G06K19/077 | 分类号： | G06K19/077 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232038 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 射频 识别 标签 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波射频识别标签，包括基底、压电基板、叉指换能器、反射栅阵、L型标签天线，其特征在于，所述压电基板为多层膜结构。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于，所述多层膜结构中，是由BN、Al、金刚石三层膜组成。
3.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于，所述多层膜结构中，是在基底硅上制备金刚石膜，金刚石膜沉积厚度为20μm。
4.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于，所述多层膜结构中，是在金刚石膜上制备纳米AL膜，AL膜厚度为0.10-0.15μm，在纳米AL膜表面制备纳米氮化硼BN膜， BN膜厚度为0.8-1.0μm。
5.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于，所述叉指换能器和反射栅阵的电极是在压电基板上制备AL膜，AL膜厚度为40-50 nm，其中叉指对数24对，叉指电极宽度0.4μm，叉指间距0.4μm，反射栅阵共4组，每组9对，电极宽度为0.1μm，间距为0.1μm，反射栅阵为开路栅。
6.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于，所述L型标签天线为左右对称的L型结构天线。
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