[实用新型]一种内封结构机油MEMS压力传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种汽车压力传感器，特别涉及一种用MEMS技术研制的体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、低成本的机油压力传感器。

背景技术

汽车传感器作为汽车电子控制系统的信息源，是汽车电子控制系统的关键部件，也是汽车电子技术领域研究的核心内容之一。汽车传感器对温度、压力、位置、转速、加速度和振动等各种信息进行实时、准确的测量和控制。衡量现代高级轿车控制系统水平的关键就在于其传感器的数量和水平。

从半导体集成电路技术发展而来的微电子机械系统(MEMS)技术日渐成熟，利用这一技术可以制作各种微型传感器，这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，非常适合在汽车上应用。

由于MEMS传感器具有不可替代的优势，传统的汽车用压力传感器将逐步被其所代替。MEMS汽车发动机机油与ABS压力传感器按目前需求国内逐年递增，随着国内MEMS汽车压力传感器技术的成熟，具有微型化、低功耗、高灵敏度、高可靠性等特点的MEMS压力传感器，将会是全球汽车传感器市场产品需求的热点。

目前，可以提供汽车MEMS压力传感器的主要以国外公司为主，有美国凯乐尔、特种测量、SSI、菲尔科、德州仪器、德国Bosch、日本电装等公司，年产量在200万只以上。国外Motorola、Infineon、GE等国际知名公司开发生产的汽车MEMS压力传感器大多采用叠硅技术，体硅工艺等工艺技术，具有灵敏度高，精度高等特点，量程50到1400KPa，精度0.03％FS，但在某些方面还存在制作工艺复杂，高精度的电容式压力传感器容易受环境干扰，且容易受到环境的污染以及多信号之间干扰等问题。

如图1所示，现有技术的MEMS压力传感器的内部连接件与壳体之间采用在连接件的侧面密封，而且只是单层密封圈的结构，密封效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种内封结构机油MEMS压力传感器，解决传感器壳体与连接件之间采用侧密封，进而带来密封性差的问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：

一种内封结构机油MEMS压力传感器，包括壳体、连接件，所述连接件安装在壳体的内部，所述连接件与壳体的接触面之间设有两个同心的环切凹槽，在内侧的环切凹槽内镶嵌有第一环形密封圈，在外侧的环切凹槽内镶嵌有第二环形密封圈，所述第二环形密封圈的直径大于第一环形密封圈的直径，第一环形密封圈和第二环形密封圈的截面均为椭圆形。

进一步的，还包括压环，所述压环与壳体之间通过螺纹连接，连接件的最大直径小于压环的最大直径，压环的内端面顶紧连接件的外端面。

本实用新型通过在连接件与壳体的接触面上设有两道密封结构，可以起到很好的密封效果，而通过外部压环的作用，可以加强密封效果。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1是现有技术机油压力传感器的结构图。

图2是本实用新型实施例所述的内封结构机油MEMS压力传感器的结构图。

具体实施方式

如图2所示，本实用新型实施例所述的内封结构机油MEMS压力传感器，包括壳体1、连接件2，所述连接件2安装在壳体1的内部，所述连接件2与壳体的接触面之间设有两个同心的环切凹槽，在内侧的环切凹槽内镶嵌有第一环形密封圈3，在外侧的环切凹槽内镶嵌有第二环形密封圈4，所述第二环形密封圈4的直径大于第一环形密封圈3的直径，第一环形密封圈3和第二环形密封圈4的截面均为椭圆形。

进一步的，还包括压环5，所述压环5与壳体1之间通过螺纹连接，连接件2的最大直径小于压环5的最大直径，压环5的内端面顶紧连接件2的外端面。

本实用新型通过在连接件与壳体的接触面上设有两道密封结构，可以起到很好的密封效果，而通过外部压环的作用，可以加强密封效果。