[实用新型]一种传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量压力的传感器。

背景技术

压力传感器是工业生活中最常见的一种传感器，其广泛应用于各种领域，涉及自动化生产、机床、管道、电力、交通监控、航空航天、石油石化、军工等众多行业。随着微机电MEMS技术的发展，MEMS压力传感器的技术也得到了显著提高，传感器体积越来越小，测量精度也得到了很大提高。

然而对于测量高精度压力时，压力传感器自身的机械误差就不能忽视。施加在传递压力的膜片上的压力从高至低降到压力值F时，和压力从低至高升到压力值F时，虽然最终的压力值相同，但由于机械的迟滞特性，膜片此时在应力作用下的挠度是不同的，即传感器膜片压力载荷的加载线与卸载线不完全重合。对于压力传感器，由于待测量的压力可能不稳定，难以确定测得的电压信号是否对应真实的压力值，这就造成所测量的弹性膜片形变对应的压力与实际的压力有偏差，采集到的压力信号精度不高。

发明内容

本实用新型提出的一种测量压力的传感器，其目的旨在克服现有技术所存在的上述缺陷，降低由于机械迟滞性造成的误差，提高压力的测量精度。

本实用新型的技术解决方案：传感器由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。

本实用新型的有益之处在于：相比于已有技术，本实用新型传感器在膜片上使用压电执行器，驱动膜片弯曲使其在迟滞曲线的加载线或卸载线上，通过电压控制驱动力大小，方便有效地控制膜片弯曲，避免膜片位置的不确定问题；使用数模转换器，在数字信号控制下输出模拟信号，方便有效地调节压电执行器，达到提高测量精度的目的；本实用新型的传感器结构简单，制造工艺简易，成本低，对于测量高精度的压力传感器，性价比较高。

附图说明

图1是本实用新型传感器的结构示意图。

图2为本实用新型传感器的结构俯视示意图。

图中数模转换器为1、压电执行器为2、膜片为3、衬底为4。

具体实施方式

实施例一

对照图1，传感器由数模转换器1、压电执行器2、膜片3、衬底4组成，其中膜片3位于衬底4的上部，压电执行器2位于膜片3的上部，数模转换器1连接在压电执行器2的上部，压电执行器2为压电膜片。

对照图2，压电执行器2位于膜片3的表面中央，数模转换器1位于膜片3边缘，通过导线连接到压电执行器2上，控制驱动力大小。

实施例二

对照图1，传感器由数模转换器1、压电执行器2、膜片3、衬底4组成，其中膜片3位于衬底4的上部，压电执行器2位于膜片3的上部，数模转换器1连接在压电执行器2的上部，压电执行器2为压电陶瓷。

对照图2，压电执行器2位于膜片3的表面中央，数模转换器1位于膜片3边缘，通过导线连接到压电执行器2上，控制驱动力大小。