[实用新型]基板检测装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，用于检测一基板的平整度，其特征在于该基板检测装置包括：

一运送平台，用以沿着一第一方向运送该基板；

一基座，固定在该运送平台上；

一滑轮组，可移动地设置在该基座，并位于该运送平台上方，该滑轮组用以接触该基板，以在该基板不平整时该滑轮组沿着该基板的轮廓而有垂直于该第一方向的一第二方向的位移；以及

一感测处理器，用以感测该滑轮组于该第二方向上的位移以产生不平整的感测信号。

2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，该滑轮组具有第一电性接点，而该感测处理器具有一处理单元以及一第二电性接点，且该处理单元与该第一电性接点及该第二电性接点电连接。

3.如权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，该第二电性接点位于该第一电性接点之下，而该第一电性接点与该第二电性接点常态接触。

4.如权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，该第二电性接点位于该第一电性接点之上，而该第一电性接点与该第二电性接点常态分离。

5.如权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，该感测处理器的该处理单元以无线或有线的方式与该第一电性接点及该第二电性接点电连接。

6.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，该基座具有一垂直部以及一水平部，其中该垂直部的表面平行于该第二方向，而该水平部的表面平行于该第一方向。

7.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，该滑轮组包括：

一轴杆，穿设该基座的该水平部；

一支撑架，固定于该轴杆的一末端；以及

一滑轮，该滑轮枢接于该支撑架，用以沿着该基板的轮廓带动该支撑架及该轴杆沿着该第二方向相对位移。

8.如权利要求7所述的基板检测装置，其特征在于还包括一弹性件，套设于该轴杆之外，并位于该滑轮组以及该基座之间。