[实用新型]自动物料搬运装置

说明书

本实用新型涉及物流系统，更具体地说，涉及一种自动物料搬运装置。

自动物料搬运装置已经广泛使用于半导体制造企业。其不仅能提供高度自动化的运输方式，对于整个制造系统的效能具有相当大的影响，还可以有效地利用有限的洁净室生产空间，提高生产设备的利用率，减少在制品量，缩短生产周期时间等。

随着自动物料搬运装置搬运量的增长，如何进一步提高搬运效率，是一个迫切的工作。优化半导体领域自动物料搬运装置的调度对于提升半导体制造企业的竞争力而言至关重要。

目前的自动物料搬运装置中，通常是通过基站与自动导航车之间进行射频通信，例如通过在自动导航车上设置RFID标签或射频芯片等方式，通过控制自动导航车的运动状态来进行实时的搬运调度，然而以射频通信技术来进行基站与自动导航车间的通信时，容易发生因射频信号干扰洁净室设备和晶片生产，而影响到产品良率的情况。

因此，业界期望获得一种不会有射频信号干扰半导体设备和晶片的自动物料搬运装置。

本实用新型的目的在于提供一种自动物料搬运装置。

为实现上述目的，本实用新型技术方案如下：

一种自动物料搬运装置，包括：一运载轨道，包括多个相互衔接的轨道区间；至少一个运载器，用于沿运载轨道运动以搬运物料，运载器包括运动控制模块、通信模块和信号处理模块，通信模块包括一光信号发射器和一光信号接收器，光信号接收器用于接收第一信号，光信号发射器用于发出第二信号；多个通信基站，分别设于运载轨道的同一侧，用于发出第一信号、接收第二信号，并将第二信号转换为第一信息，通信基站与轨道区间一一对应；以及控制服务器，其根据从通信基站获取的第一信息，向通信基站发出控制指令，通信基站接收控制指令，将控制指令转换为第一信号并发送给对应于第一信息的运载器，该运载器的光信号接收器接收第一信号，其信号处理模块将第一信号转换为运动指令，其运动控制模块根据运动指令控制该运载器在该轨道区间上运动，直至该运载器驶离该轨道区间；其中，运载器的光信号发射器、光信号接收器分别设置于运载器上远离通信基站侧的一端和靠近通信基站侧的一端。

优选地，光信号发射器以第一角度范围发出光信号，光信号接收器在第二角度范围内接收光信号，第一角度范围等于或接近第二角度范围。

优选地，各通信基站相互之间间隔相等，每一通信基站发出的第一信号恰好覆盖对应于该通信基站的轨道区间。

优选地，第二信号包括运载器的唯一标识。

优选地，第二信号包括运载器的唯一标识。

优选地，第二信号还包括运载器的运动状态信息，通信基站将第二信号转换为第一信息，控制服务器获取第一信息并根据第一信息确定运载器的运动状态。

本实用新型提供的自动物料搬运装置，在调度运载器搬运物料时，有效避免了射频信号对半导体设备和晶片的干扰，提高了产品良率；同时，其根据光信号精确的角度特性，实现了对运载轨道的分段调度和对运载器的精确定位。

图1示出本实用新型第一实施例的自动搬运系统结构示意图；

图2示出本实用新型的运载器模块结构示意图；

图3示出本实用新型第一实施例的控制服务器定位处于一轨道区间上的运载器的示意图；

图4示出本实用新型第一实施例的控制服务器定位处于两相邻轨道区间衔接点上的运载器的示意图。

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

如图1和图2所示，本实用新型第一实施例的自动物料搬运装置，用于半导体加工制造领域内，其包括至少一个运载器101、多个通信基站103和控制服务器104，运载器101沿一运载轨道运动以搬运物料，多个通信基站103设置于该运载轨道的同一侧，与运载器101进行通信，控制服务器104通过通信基站103调度运载器101。

其中，运载器101包括通信模块1011、信号处理模块1012和运动控制模块1013，通信模块1011接收第一信号，并发出第二信号，第二信号可以记载运载器101的唯一标识、运动状态、物料数据等信息。

运载轨道可以分为多个轨道区间102，相互衔接，轨道区间102与通信基站103一一对应，即每个通信基站103仅负责控制运载器101在与该通信基站对应的轨道区间102上运动，以便实现分段调度。