[实用新型]一种投影物镜差分微调装置

权利要求书

1.一种投影物镜差分微调装置，包括镜筒和镜座，其特征在于，还包括均匀分布在镜筒圆周上的至少三个螺杆机构和与螺杆机构上下对应的相同数量的柱塞机构，镜座由螺杆机构和柱塞机构夹持，悬于镜筒内。

2.根据权利要求1所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，所述螺杆机构包括螺杆和套在螺杆外的螺套，螺杆的两端分别从螺套的两端伸出，下端球头与镜座接触，螺杆的外螺纹与螺套的内螺纹配合连接，螺距为P1，螺套的外螺纹与镜筒的内螺纹配合连接，螺距为P2，P2>P1。

3.根据权利要求2所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，螺杆上端设有螺杆锁紧螺母，用于固定螺杆在螺套内的相对位置，螺套设有螺套锁紧螺母，用于固定螺套在中圆筒内的相对位置。

4.根据权利要求2所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，还包括螺杆定位机构，其包括销钉、螺杆上水平设置的前销孔和相应位置在镜筒上贯通设置的后销孔，销钉通过后销孔插入前销孔，所述后销孔为长孔，水平方向与销钉相配合，竖直方向留有销钉随螺杆上下运动的空间。

5.根据权利要求1所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，所述柱塞机构包括弹簧柱塞和连接片，弹簧柱塞与镜筒通过连接片固定连接，弹簧柱塞的销子与镜座接触。

6.根据权利要求1所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，还包括z向柔性的环状簧片，所述簧片同时与镜筒和镜座固定连接，簧片可防止调节过程中镜座的径向窜动。

7.根据权利要求1所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，所述镜座为圆柱型结构，中间开有圆孔并带有台阶，镜片放在台阶上，所述镜座外圆周上均匀延伸出至少三个支撑块，所述支撑块设置在相应的螺杆机构和柱塞机构之间。

8.根据权利要求1所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，还包括至少三个传感器，所述传感器分别位于螺杆机构180度位置上。

9.根据权利要求1～8任一所述一种投影物镜差分微调装置，其特征在于，所述镜筒从上至下一体成型包括小圆筒、中圆筒和大圆筒，所述中圆筒伸出的上表面按圆周均匀分布有至少三个螺杆孔，中圆筒的内圆周面上设有与螺杆孔上下位置对应的凹槽，中圆筒的外圆周上设有至少三个缺口。