[实用新型]膜厚量测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种量测设备，特别是涉及一种适用于量测石英坩埚的覆膜厚度的膜厚量测装置。

背景技术

太阳能产业中在生产晶锭前，需先将氮化硅喷涂于石英坩埚内层后，再送入烘烤炉中烘烤而产生一层保护膜，才能再将硅原料填入石英坩埚内，之后，再将填完硅原料的石英坩埚送入长晶炉中生产晶锭。因此，在石英坩埚内所喷涂的氮化硅膜的厚度会影响晶锭的品质，氮化硅膜厚度太薄会使晶锭与石英坩埚相连，而导致晶锭崩裂，氮化硅膜厚度太厚则会使晶锭的杂质变多，而导致晶锭的品质。因此，如何控制氮化硅膜的厚度是影响晶锭品质的重要一环。

一般长晶业者都是利用反复测试寻找出最佳喷涂比例，但是却不知道实际氮化硅厚度。现有石英坩埚制造商测量膜厚的方式有两种，其一是在喷涂氮化硅以前，在石英坩埚内部贴一层双面胶，待喷涂烘烤过，利用前后重量的差异算出膜厚，但是此方法为平均膜厚，且量测完后须再重洗石英坩埚、再进行喷涂才能使用，其二是将喷涂烘烤后的石英坩埚敲碎，送给研究单位采用精密仪器分析，此方式较为精准且可知单点的膜厚，但是这种方式花费成本高，且无法应用于长晶业者量产生产模式上。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、操作容易且能精准量测覆膜厚度的膜厚量测装置。

本实用新型的膜厚量测装置，包含一个本体、一对跨架、一个滑座、一支量测杆及一个量测件，该本体具有一个第一端、一个相反于该第一端的第二端、一个由该第一端延伸至该第二端的第一轴线及一个设置于该第一端与该第二端之间且沿该第一轴线设置的第一刻度，所述跨架能移动且安装于该本体，且能分别沿该第一轴线相对于该第一端、该第二端伸出或缩入，该滑座能沿该第一轴线移动且安装于该本体，且位于所述跨架之间，该量测杆安装于该滑座，且能沿一条垂直于该第一轴线的第二轴线相对于该滑座产生位移，该量测件安装于该量测杆。

本实用新型的膜厚量测装置，该滑座具有一个沿该第二轴线设置的安装孔，该量测杆安装于该安装孔中，并具有数个沿该第二轴线设置的标记。

本实用新型的膜厚量测装置，该量测杆截面呈圆形，且能转动且安装于该安装孔中，该滑座还具有一个围绕设置于该安装孔周围的指示部位，所述标记能对应于该指示部位。

本实用新型的膜厚量测装置，该量测杆具有一个对应于该滑座的顶端、一个相反于该顶端的底端及一个设置于该底端的枢接座，该量测件能转动且轴设于该枢接座。

本实用新型的膜厚量测装置，该量测杆的枢接座具有一支枢轴及数个与该枢轴等距且彼此呈等间隔设置的定位部，该量测件具有一个能与其中一个定位部嵌套定位的卡制部。

本实用新型的膜厚量测装置，该量测件为一个单头雷射测距仪，且具有一个光学测距元件。

本实用新型的膜厚量测装置，该本体还具有一对分设于该第一端与该第二端的固定座、一对固设于所述固定座之间且沿该第一轴线延伸的长杆及一对分别设置于所述长杆与所述固定座之间且沿该第一轴线设置的滑孔，所述跨架呈L形，并各具有一个穿设于所述滑孔中的横杆件及一个与该横杆件连接的竖杆件，所述竖杆件的底部各设有一个标示部位。

本实用新型的膜厚量测装置，所述跨架的标示部位呈倒V形且呈凹槽状。

本实用新型的膜厚量测装置，所述跨架的横杆件具有一个沿该第一轴线设置的第二刻度。

本实用新型的膜厚量测装置，该滑座呈中空矩形框状，并具有一个设置于所述长杆上方的顶壁、一个设置于所述长杆下方的底壁及一个开设于该顶壁的视窗，该顶壁具有一个凸伸于该视窗中且能对应于该第一刻度的指标。

本实用新型的有益效果在于：利用所述跨架能相对于该本体产生位移、该量测件能相对于该滑座产生位移的作用，再利用该量测件对一个坩埚覆膜前后进行量测，就能达到膜厚量测目的，整体结构简单、操作容易。

附图说明

图1是本实用新型膜厚量测装置一个较佳实施例的一立体组合图；

图2是该较佳实施例的一个平面组合剖视图；

图3是该较佳实施例的一个俯视组合图；

图4是该较佳实施例的一个示意图，说明一支量测杆的局部剖视态样及一个量测件的安装态样；

图5是图4的侧视示意图；

图6是该较佳实施例的一个操作示意图，说明该量测装置跨置于一个坩埚上且于该坩埚的周壁上定出数个直向点位；

图7是该较佳实施例的另一个操作示意图，说明该量测装置跨置于该坩埚上，且能定出数个量测点；

图8是该较佳实施例的又一个操作示意图，说明该量测装置于该坩埚的底壁上定出数个水平点位。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。