[实用新型]一种增强型绝缘硅复合材料有效

专利信息
申请号: 201220748250.X 申请日: 2012-12-29
公开(公告)号: CN203150549U 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 黄志强 申请(专利权)人: 黄志强
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 代理人: 张一鸣
地址: 215100 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 增强 绝缘 复合材料
【权利要求书】:

1.一种增强型绝缘硅复合材料,包含中间绝缘层;所述中间绝缘层的上表面和下表面分别设置有单晶硅片;其特征在于:所述中间绝缘层,包含二氧化硅基多元无机复合材料层;所述二氧化硅基多元无机复合材料层的上表面设置有第一二氧化硅膜层;所述二氧化硅基多元无机复合材料层由二氧化硅基多元无机复合材料制成,所述二氧化硅基多元无机复合材料的化学式为SiO2-ZnO-B2O3

2.根据权利要求1所述的增强型绝缘硅复合材料,其特征在于:所述二氧化硅基多元无机复合材料层的下表面设置有第二二氧化硅膜层。

3.根据权利要求1所述的增强型绝缘硅复合材料,其特征在于:所述增强型绝缘硅复合材料的层间结构为Si-SiO2-(SiO2-ZnO-B2O3)- SiO2-Si。

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