[实用新型]硅片分选机及其导向装置

权利要求书

1.一种硅片分选机的导向装置，其特征在于，包括导向通道和皮带装置，所述皮带装置包括皮带（60）以及支撑和驱动所述皮带（60）的皮带轮，所述皮带（60）在所述导向通道的两侧延伸以形成所述导向通道的导向面。

2.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，所述导向装置还包括至少两块安装板（10），两块所述安装板（10）分别设置在所述硅片（70）的两侧，所述皮带轮包括设置在每个所述安装板（10）上的主动轮（20）和第一从动轮（30），靠近所述硅片（70）一侧的所述皮带（60）的运动方向与所述硅片（70）的前进方向相同。

3.根据权利要求2所述的导向装置，其特征在于，所述主动轮（20）和/或所述第一从动轮（30）沿靠近或者远离所述硅片（70）的方向位置可调地设置在所述安装板（10）上。

4.根据权利要求2或3所述的导向装置，其特征在于，靠近所述硅片（70）一侧的所述皮带（60）与所述硅片（70）的前进方向之间的夹角为5至15度。

5.根据权利要求4所述的导向装置，其特征在于，靠近所述硅片（70）一侧的所述皮带（60）与所述硅片（70）的前进方向之间的夹角为10度。

6.根据权利要求2所述的导向装置，其特征在于，所述导向装置还包括设置在所述安装板（10）上的第二从动轮（40），所述第二从动轮（40）位于所述主动轮（20）和所述第一从动轮（30）之间。

7.根据权利要求6所述的导向装置，其特征在于，靠近所述硅片（70）一侧的皮带（60）包括引入段（61）和导向段（62），所述引入段（61）位于所述主动轮（20）和所述第二从动轮（40）之间，并从所述主动轮（20）到所述第二从动轮（40）逐渐向所述硅片（70）靠近，所述导向段（62）位于所述第二从动轮（40）和所述第一从动轮（30）之间，且所述导向段（62）平行于所述硅片（70）的前进方向。

8.根据权利要求2或3所述的导向装置，其特征在于，所述导向装置还包括设置在所述安装板（10）上以调节所述皮带（60）的张紧度的张紧轮（50）。

9.根据权利要求2或3所述的导向装置，其特征在于，所述皮带（60）为齿形皮带（60），所述主动轮（20）和所述从动轮均具有与所述齿形皮带（60）的内齿相匹配的外齿。

10.一种硅片分选机，包括入料系统、测量系统和分选系统，所述入料系统与所述测量系统之间设置有导向装置，其特征在于，所述导向装置为权利要求1至9中任一项所述的硅片分选机的导向装置。