[实用新型]共烧结构的电导率传感器

权利要求书

1.共烧结构的电导率传感器，其特征在于，它包括上极板(1)、下极板和极板间基片(3)；所述上极板(1)和下极板结构相同，上极板和下极板镜像对称固定在极板间基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形结构；上极板和下极与极板间基片(3)连接的一端为固定端，另一端为悬空端；

上极板(1)由五个极板基片组成；所述五个极板基片重叠放置，从上至下依次为第一极板基片(1-1-1)、第二极板基片(1-1-2)、第三极板基片(1-1-3)、第四极板基片(1-1-4)和第五极板基片(1-1-5)；

第一极板基片(1-1-1)的悬空端的上表面设置有N个电极(1-2)，第三极板基片(1-1-3)的上表面设置有N根引线(1-3)，第五极板基片(1-1-5)的下表面设置N个输出电极(1-4)，

第一极板基片(1-1-1)、第二极板基片(1-1-2)、第三极板基片(1-1-3)、第四极板基片(1-1-4)和第五极板基片(1-1-5)分别设置N个过孔，所述过孔为各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔内设置有导电金属；

所述N个电极(1-2)分别通过第一极板基片(1-1-1)上的N个过孔和第二极板基片(1-1-2)上的N个过孔与第三极板基片(1-1-3)上的N根引线(1-3)连接，第三极板基片(1-1-3)上的N根引线(1-3)分别通过第三极板基片(1-1-3)上的N个过孔、第四极板基片上的N个过孔和第五极板基片(1-1-5)的N个过孔与第五极板基片(1-1-5)下表面的N个输出电极(1-4)连接。

2.根据权利要求1所述的共烧结构的电导率传感器，其特征在于，所述第二极板基片(1-1-2)与第四极板基片(1-1-4)均为单层或多层结构。

3.根据权利要求1所述的共烧结构的电导率传感器，其特征在于，极板间基片(3)为单层或多层结构。

4.根据权利要求1所述的共烧结构的电导率传感器，其特征在于，所述N等于1或2或3或4或5。

5.根据权利要求1所述的共烧结构的电导率传感器，其特征在于，上极板(1)还包括温度检测元件(4)，第五极板基片(1-1-5)还包括两个温度检测输出电极(1-5)，所述温度检测元件(4)设置在第三极板基片(1-1-3)的上表面，所述温度检测元件(4)的两端分别通过第三极板基片(1-1-3)上的过孔、第四极板基片(1-1-4)上的过孔和第五极板基片(1-1-5)上的过孔与第五极板基片(1-1-5)的两个温度检测输出电极(1-5)连接。