[实用新型]一种带节气装置的高纯水氮封水箱

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种半导体设备，具体涉及一种高纯水氮封水箱。

背景技术

在现有技术中，高纯水均有绝缘的特点，常用于洗清半导体元器件。在使用中，纯水箱中电阻率较低的纯水经EDI（连续电去离子装置）转化后形成高纯水，并将高纯水输入存满氮气的高纯水氮封水箱进行存储，利用氮气的隔绝作用实现高纯水与空气、二氧化碳、杂质隔离，确保高纯水始终保持较高的电阻率。现有的高纯水氮封水箱包括水箱、进水管、出水管以及用于氮气流通的供气管、排气管，进水管上设有开关型阀门，水箱内设有测量水位的压力感应器，在使用时，压力感应器被设置在一个正常水位范围内，当水箱内的水位低于正常水位范围的最低值时，阀门打开，经EDI处理的高纯水流入水箱中，当水位回复至正常水位范围的最高值时，阀门关闭，经EDI处理的高纯水通过分叉管路回流至纯水水箱，这种结构的高纯水氮封水箱存在以下缺陷：当高纯水氮封水箱内的水位降低时，水箱上部的空间变大，此时需要通过进气管输入氮气，确保高纯水的高绝缘性，当水位低于正常水位范围的最低值时，阀门打开，高纯水被灌入水箱中，此时由于水位上升，水箱上部空间逐渐变小，氮气体积压缩并通过排气管排入空气中，造成氮气浪费，提高了使用成本，且氮气大多采用瓶装方式存储，由于消耗量大，换瓶频率变大，造成生产中断，影响生产效率。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供一种通过节气装置减少氮气排放的高纯水氮封水箱，本实用新型的进一步目的是提供一种能使氮气重复使用的高纯水氮封水箱。

本实用新型通过以下方式实现：一种带节气装置的高纯水氮封水箱，包括水箱，所述水箱上设有一进水口以及一出水口，所述水箱上连有一节气装置，所述节气装置包括一导气管和一密闭的软质气囊，所述导气管一端与所述水箱顶部连通，另一端与所述气囊连通，通过气囊形变并容置气体实现节气功能。在原有高纯水氮封水箱的结构基础上增设一与其连通的气囊，利用气囊内腔体积可变的特点，将因水箱内水位上升而被挤出的氮气存储起来，并在水位下降时将氮气回输至水箱中，实现氮气重复利用，有效降低氮气的消耗量，降低生产成本，还可以降低换瓶频率，防止断气情况发生，有效提高生产效率。

作为优选，所述水箱顶部设有一安全电磁阀。安全电磁阀的开关与水箱内气体压力相关联，通过安全电磁阀的开关来确保气囊及水箱的运行安全。

作为优选，所述水箱通过一设于其顶部且带阀门的供气管与一自力式进气装置连通。自力式进气装置可以为水箱提供氮气，所述阀门的开关与箱体内气体压力相关联，确保水箱内氮气压力恒定，防止因氮气压力不足造成高纯水与空气、二氧化碳、杂质接触的情况发生，能有效确保水箱中高纯水的高电阻率。

作为优选，所述气囊内置于一储气箱中。储气箱既起到保护软质气囊的作用，还能利用其硬质壁面防止气囊过度膨胀，确保气囊安全。

作为优选，所述导气管一端与水箱顶部连通，另一端穿过所述储气箱并与所述气囊底部连通。导气管一端与水箱顶部连接，有效防止高纯水流入气囊中，确保气囊的储气能力；导气管另一端与气囊底部连接，通过气囊自身重力压迫氮气回流至水箱中，确保水箱中的氮气量，有效隔绝空气、二氧化碳以及灰尘。

作为优选，述出水口位于所述水箱底部，所述出水口和进水口均通过一带阀门的水管外连。位于水箱底部的出水口有利于水箱中的高纯水流出，所述出水口水管的阀门由使用者控制，所述进水口水管上的阀门开关与水箱内高纯水水位高低相关联。

作为优选，所述水箱的内腔底部设有一压力传感器。压力传感器起到感应水箱内高纯水水位的作用。

本实用新型的有益效果：在原有高纯水氮封水箱的结构基础上增设一与其连通的气囊，利用气囊内腔体积可变的特点，实现氮气重复利用，有效降低氮气的消耗量，降低生产成本，还可以降低换瓶频率，防止断气情况发生，有效提高生产效率。

附图说明

图1 为本实用新型处于正常水位范围的较高值时的剖面结构示意图；

图2 为本实用新型处于正常水位范围的较低值时的剖面结构示意图；

图中：1、水箱，2、进水口，3、出水口，4、导气管，5、气囊，6、安全电磁阀，7、供气管，8、自力式进气装置，9、储气箱，10、阀门，11、压力传感器。

具体实施方式

下面结合说明书附图和具体实施方式对本实用新型的实质性特点作进一步的说明。